Microscope électronique à balayage (MEB)
Projet | Paramètre | ||
Système optique électronique | Type de canon à électrons | Canon à électrons à filament de tungstène pré-centré | |
Résolution | Vide poussé | 5 nm à 10 kV (SE) | |
3 nm à 30 kV (SE) | |||
8 nm à 3 kV (SE) | |||
Grossissement | 1–300 000× (grossissement de base) | ||
1–16× (grossissement optique) | |||
Tension d'accélération | 0,2 kV à 30 kV | ||
Système d'imagerie | Détecteur | Détecteur d'électrons secondaires (ETD) | |
| détecteur d'électrons rétrodiffusés détecteur d'électrons secondaires sous vide poussé Spectroscopie dispersive en énergie (EDS), etc. | |||
Format de stockage d'images | TIFF, JPG, BMP, PNG, jusqu'à 48 000 × 32 000 pixels | ||
Configuration | Fonction de navigation optique, équipée d'une caméra CCD horizontale et d'une caméra verticale | ||
Système de vide | Mode aspirateur | Vide poussé | Mieux que 5×10⁻⁴ Pa |
Vide faible | 5 à 1000 Pa | ||
Méthode de contrôle | Commande entièrement automatique | ||
Chambre d'échantillonnage | Caméra | navigation optique | |
surveillance de la chambre d'échantillonnage | |||
Configuration de l'étage d'échantillonnage | Platine porte-échantillons entièrement automatisée à 5 axes avec conception motorisée interne entièrement fermée | ||
Plage de déplacement | X:120 mm | ||
ET:115 mm | |||
AVEC:50 mm | |||
R (Rotation) : réglable en continu sur 360° | |||
T:-10° à +90° | |||
Capacité de la chambre d'échantillonnage | Largeur : 340 mm Hauteur : 274 mm Profondeur : 295 mm | ||
Taille maximale de l'échantillon | Diamètre : 270 mm Hauteur : 53 mm | ||