Vrstični elektronski mikroskop (SEM)

Projekt

Parameter

Elektronski optični sistem

Vrsta elektronske pištole

Predcentrirana elektronska puška z volframovo nitko

Ločljivost

Visok vakuum

5 nm pri 10 kV (SE)

3nm pri 30 kV (SE)

8nm pri 3kV (SE)

Povečava

1–300.000× (osnovna povečava)

1–16× (optična povečava)

Pospeševalna napetost

0,2 kV~30 kV

Sistem za slikanje

Detektor

Detektor sekundarnih elektronov (ETD)

Detektor povratno sipanih elektronov

Detektor sekundarnih elektronov v nizkem vakuumu

Energijsko disperzivna spektroskopija (EDS) itd.

Format shranjevanja slik

TIFF, JPG, BMP, PNG, do 48k * 32k

Konfiguracija

Funkcija optične navigacije, opremljena z vodoravno CCD kamero in navpično kamero

Vakuumski sistem

Vakuumski način

Visok vakuum

Boljše od 5 × 10⁻⁴ Pa

Nizek vakuum

5~1000 Pa

Metoda krmiljenja

Popolnoma avtomatsko upravljanje

Vzorčna komora

Kamera

Optična navigacija

Spremljanje vzorčne komore

Konfiguracija vzorčnega odra

5-osna popolnoma avtomatizirana vzorčna mizica s popolnoma zaprto notranjo motorizirano zasnovo

Doseg potovanja

X：120 mm

IN：115 mm

Z：50 mm

R (vrtenje): 360° brezstopenjsko nastavljivo

T：-10°~+90°

Prostornina vzorčne komore

Širina: 340 mm

Višina: 274 mm

Globina: 295 mm

Največja velikost vzorca

Premer: 270 mm

Višina: 53 mm