Skannandi rafeindasmásjá (SEM)
Verkefni | Færibreyta | ||
Rafeindaljóskerfi | Tegund rafeindabyssu | Formiðjuð wolframþráðar rafeindabyssa | |
Upplausn | Hátt lofttæmi | 5nm@10kV (SA) | |
3nm@30kV (SA) | |||
8nm@3kV (SA) | |||
Stækkun | 1–300.000× (grunnstækkun) | ||
1–16× (sjónræn stækkun) | |||
Hröðunarspenna | 0,2 kV ~ 30 kV | ||
Myndgreiningarkerfi | Skynjari | Auka rafeindaskynjari (ETD) | |
| Afturdreifður rafeindaskynjari Rafeindaskynjari með lágu lofttæmi Orkudreifingarlitrófsgreining (EDS) o.s.frv. | |||
Geymslusnið myndar | TIFF, JPG, BMP, PNG, allt að 48k * 32k | ||
Stillingar | Sjónræn leiðsöguaðgerð, búin láréttri CCD myndavél og lóðréttri myndavél | ||
Tómarúmskerfi | Tómarúmsstilling | Hátt lofttæmi | Betra en 5×10⁻⁴ Pa |
Lágt lofttæmi | 5~1000Pa | ||
Stjórnunaraðferð | Full sjálfvirk stjórnun | ||
Sýnishornshólf | Myndavél | Sjónræn leiðsögn | |
Eftirlit með sýnishornsklefa | |||
Dæmi um stillingu á stigi | 5-ása fullkomlega sjálfvirk sýnatökupallur með fullkomlega lokaðri innri vélknúinni hönnun | ||
Ferðasvið | X：120 mm | ||
OG：115 mm | |||
MEÐ：50 mm | |||
R (Snúningur): 360° stöðugt stillanleg | |||
T：-10°~+90° | |||
Sýnishornsrými | Breidd: 340 mm Hæð: 274 mm Dýpt: 295 mm | ||
Hámarksúrtaksstærð | Þvermál: 270 mm Hæð: 53 mm | ||