میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)
پروژه | پارامتر | ||
سیستم نوری الکترونی | نوع تفنگ الکترونی | تفنگ الکترونی با رشته تنگستن از پیش متمرکز شده | |
وضوح تصویر | خلاء بالا | 5 نانومتر @ 10 کیلوولت (جنوب شرقی) | |
۳ نانومتر @ ۳۰ کیلوولت (جنوب شرقی) | |||
8 نانومتر @ 3 کیلوولت (جنوب شرقی) | |||
بزرگنمایی | ۱–۳۰۰۰۰۰ برابر (بزرگنمایی پایه) | ||
۱–۱۶× (بزرگنمایی نوری) | |||
ولتاژ شتاب | 0.2 کیلوولت ~ 30 کیلوولت | ||
سیستم تصویربرداری | آشکارساز | آشکارساز الکترون ثانویه (ETD) | |
| آشکارساز الکترونهای پسپراکنده آشکارساز الکترون ثانویه با خلاء کم طیفسنجی پراکندگی انرژی (EDS) و غیره | |||
قالب ذخیره سازی تصویر | TIFF، JPG، BMP، PNG، تا ۴۸k*۳۲k | ||
پیکربندی | عملکرد ناوبری نوری، مجهز به دوربین CCD افقی و دوربین عمودی | ||
سیستم خلاء | حالت خلاء | خلاء بالا | بهتر از ۵×۱۰⁻⁴ پاسکال |
خلاء کم | 5 ~ 1000 پاسکال | ||
روش کنترل | کنترل کاملاً اتوماتیک | ||
محفظه نمونه | دوربین | ناوبری نوری | |
نظارت بر محفظه نمونه | |||
پیکربندی صحنه نمونه | جایگاه نمونهبرداری کاملاً خودکار ۵ محوره با طراحی موتوری داخلی کاملاً محصور | ||
محدوده سفر | ایکس:۱۲۰ میلیمتر | ||
و:۱۱۵ میلیمتر | |||
با:۵۰ میلیمتر | |||
راست (چرخش): 360 درجه به طور مداوم قابل تنظیم | |||
تی:-10° ~ +90°درجه | |||
ظرفیت محفظه نمونه | عرض: ۳۴۰ میلیمتر ارتفاع: ۲۷۴ میلیمتر عمق: ۲۹۵ میلیمتر | ||
حداکثر اندازه نمونه | قطر: ۲۷۰ میلیمتر ارتفاع: ۵۳ میلیمتر | ||