Сканерлеуші электронды микроскоп (SEM)
Жоба | Параметр | ||
Электронды-оптикалық жүйе | Электронды тапанша түрі | Алдын ала орталықтандырылған вольфрам жіпшелі электронды тапанша | |
Ажыратымдылық | Жоғары вакуум | 5нм @ 10кВ (ОШ) | |
3 нм @ 30 кВ (оңтүстік-шығыс) | |||
8нм@3кВ(оңтүстік-шығыс) | |||
Үлкейту | 1–300 000× (қарапайым үлкейту) | ||
1–16× (оптикалық үлкейту) | |||
Үдеу кернеуі | 0,2 кВ ~ 30 кВ | ||
Бейнелеу жүйесі | Детектор | Екіншілік электронды детектор (ЭЭД) | |
| Кері шашыраңқы электрон детекторы Төмен вакуумды екінші реттік электронды детектор Энергия дисперсиялық спектроскопия (ЭДС) және т.б. | |||
Кескінді сақтау пішімі | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k*32k дейін | ||
Конфигурация | Оптикалық навигация функциясы, көлденең CCD камерасымен және тік камерамен жабдықталған | ||
Вакуумдық жүйе | Вакуум режимі | Жоғары вакуум | 5×10⁻⁴ Па-дан жақсырақ |
Төмен вакуум | 5~1000Па | ||
Басқару әдісі | Толығымен автоматты басқару | ||
Үлгі камерасы | Камера | Оптикалық навигация | |
Үлгі камерасын бақылау | |||
Үлгі кезеңінің конфигурациясы | Толығымен жабық ішкі моторландырылған дизайны бар 5 осьті толық автоматтандырылған үлгі сатысы | ||
Саяхат алаңы | X：120 мм | ||
ЖӘНЕ：115 мм | |||
БІРГЕ：50 мм | |||
R (Айналу): 360° үздіксіз реттелетін | |||
Т：-10°~+90° | |||
Үлгі камерасының сыйымдылығы | Ені: 340 мм Биіктігі: 274 мм Тереңдігі: 295 мм | ||
Максималды үлгі өлшемі | Диаметрі: 270 мм Биіктігі: 53 мм | ||