ກ້ອງຈຸລະທັດອີເລັກຕຣອນສະແກນ (SEM)
ໂຄງການ | ພາລາມິເຕີ | ||
ລະບົບແສງອີເລັກຕຣອນ | ປະເພດປືນອີເລັກຕຣອນ | ປືນເອເລັກຕຣອນເສັ້ນໃຍທังສະເຕນທີ່ມີຈຸດໃຈກາງລ່ວງໜ້າ | |
ຄວາມລະອຽດ | ສູນຍາກາດສູງ | 5nm@10kV (ຕາເວັນອອກສຽງໃຕ້) | |
3nm@30kV (ຕາເວັນອອກສຽງໃຕ້) | |||
8nm@3kV (ຕາເວັນອອກສຽງໃຕ້) | |||
ການຂະຫຍາຍ | 1–300,000× (ການຂະຫຍາຍພື້ນຖານ) | ||
1–16× (ການຂະຫຍາຍທາງແສງ) | |||
ແຮງດັນເລັ່ງ | 0.2kV ~ 30kV | ||
ລະບົບການຖ່າຍພາບ | ເຄື່ອງກວດຈັບ | ເຄື່ອງກວດຈັບເອເລັກຕຣອນທຸຕິຍະພູມ (ETD) | |
| ເຄື່ອງກວດຈັບເອເລັກຕຣອນທີ່ກະແຈກກະຈາຍກັບຄືນ ເຄື່ອງກວດຈັບເອເລັກຕຣອນທຸຕິຍະພູມສູນຍາກາດຕ່ຳ ການວິເຄາະການກະຈາຍພະລັງງານ (EDS), ແລະອື່ນໆ. | |||
ຮູບແບບການເກັບຮັກສາຮູບພາບ | TIFF, JPG, BMP, PNG, ສູງສຸດ 48k * 32k | ||
ການຕັ້ງຄ່າ | ຟັງຊັນການນຳທາງດ້ວຍແສງ, ພ້ອມດ້ວຍກ້ອງຖ່າຍຮູບ CCD ອອກຕາມແນວນອນ ແລະ ກ້ອງຖ່າຍຮູບຕັ້ງ | ||
ລະບົບສູນຍາກາດ | ໂໝດສູນຍາກາດ | ສູນຍາກາດສູງ | ດີກ່ວາ 5×10⁻⁴ Pa |
ສູນຍາກາດຕ່ຳ | 5~1000Pa | ||
ວິທີການຄວບຄຸມ | ການຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມທີ່ | ||
ຫ້ອງຕົວຢ່າງ | ກ້ອງຖ່າຍຮູບ | ການນຳທາງດ້ວຍແສງ | |
ການຕິດຕາມກວດກາຫ້ອງຕົວຢ່າງ | |||
ການຕັ້ງຄ່າຂັ້ນຕອນຕົວຢ່າງ | ເວທີເກັບຕົວຢ່າງແບບອັດຕະໂນມັດເຕັມຮູບແບບ 5 ແກນພ້ອມດ້ວຍການອອກແບບດ້ວຍມໍເຕີພາຍໃນທີ່ປິດລ້ອມຢ່າງຄົບຖ້ວນ | ||
ຂອບເຂດການເດີນທາງ | X：120 ມມ | ||
ແລະ：115 ມມ | |||
ກັບ：50 ມມ | |||
R (ໝຸນ): ສາມາດປັບໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ 360° | |||
ທ：-10°~+90° | |||
ຄວາມຈຸຂອງຫ້ອງຕົວຢ່າງ | ຄວາມກວ້າງ: 340 ມມ ຄວາມສູງ: 274 ມມ ຄວາມເລິກ: 295 ມມ | ||
ຂະໜາດຕົວຢ່າງສູງສຸດ | ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ: 270 ມມ ຄວາມສູງ: 53 ມມ | ||