Microscopio electrónico de varrido (SEM)
Proxecto | Parámetro | ||
Sistema óptico electrónico | Tipo de canón de electróns | Canón de electróns con filamento de tungsteno precentrado | |
Resolución | Alto baleiro | 5 nm a 10 kV (SE) | |
3 nm a 30 kV (SE) | |||
8 nm a 3 kV (SE) | |||
Ampliación | 1–300.000× (ampliación básica) | ||
1–16× (ampliación óptica) | |||
Tensión de aceleración | 0,2 kV~30 kV | ||
Sistema de imaxe | Detector | Detector secundario de electróns (ETD) | |
| Detector de electróns retrodispersados Detector de electróns secundarios de baixo baleiro espectroscopia de dispersión de enerxía (EDS), etc. | |||
Formato de almacenamento de imaxes | TIFF, JPG, BMP, PNG, ata 48k*32k | ||
Configuración | Función de navegación óptica, equipada con cámara CCD horizontal e cámara vertical | ||
Sistema de baleiro | Modo de baleiro | Alto baleiro | Mellor que 5×10⁻⁴ Pa |
Baixo baleiro | 5~1000Pa | ||
Método de control | Control totalmente automático | ||
Cámara de mostras | Cámara | navegación óptica | |
Monitorización da cámara de mostras | |||
Configuración da etapa de mostra | Plataforma de mostras totalmente automatizada de 5 eixes con deseño motorizado interno totalmente pechado | ||
Rango de viaxe | X：120 milímetros | ||
E：115 milímetros | |||
CON：50 milímetros | |||
R (Rotación): 360° axustable continuamente | |||
T：-10°~+90° | |||
Capacidade da cámara de mostras | Anchura: 340 mm Altura: 274 mm Profundidade: 295 mm | ||
Tamaño máximo da mostra | Diámetro: 270 mm Altura: 53 mm | ||