Eskaneatze Mikroskopio Elektronikoa (SEM)
Proiektua | Parametroa | ||
Sistema elektroniko optikoa | Elektroi-kanoi mota | Aurrez zentratutako tungsteno harizpiko elektroi-kanoia | |
Bereizmena | Hutsune handia | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Handitzea | 1–300.000× (oinarrizko handitzea) | ||
1–16× (handitze optikoa) | |||
Azelerazio-tentsioa | 0.2kV~30kV | ||
Irudi Sistema | Detektagailua | Bigarren mailako elektroi detektagailua (ETD) | |
| Atzeraka barreiatutako elektroi detektagailua Hutsune baxuko bigarren mailako elektroi detektagailua Energia dispertsiboko espektroskopia (EDS), etab. | |||
Irudiak gordetzeko formatua | TIFF, JPG, BMP, PNG, gehienez 48k * 32k | ||
Konfigurazioa | Nabigazio funtzio optikoa, CCD kamera horizontalarekin eta kamera bertikalarekin hornitua | ||
Hutsune Sistema | Hutsune modua | Hutsune handia | 5×10⁻⁴ Pa baino hobea |
Hutsune baxua | 5~1000Pa | ||
Kontrol metodoa | Kontrol guztiz automatikoa | ||
Lagin Ganbera | Kamera | Nabigazio optikoa | |
Lagin-ganberaren monitorizazioa | |||
Laginaren Etapa Konfigurazioa | 5 ardatzeko lagin-etapa guztiz automatizatua, barneko diseinu motorizatu guztiz itxiarekin | ||
Bidaia-eremua | X：120 mm | ||
ETA：115 mm | |||
REKIN：50 mm | |||
R (Biraketa): 360° etengabe erregulagarria | |||
T：-10°~+90° | |||
Lagin Ganberaren Edukiera | Zabalera: 340 mm Altuera: 274 mm Sakonera: 295 mm | ||
Laginaren gehienezko tamaina | Diametroa: 270 mm Altuera: 53 mm | ||