የስካኒንግ ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕ (SEM)
ፕሮጀክት | መለኪያ | ||
የኤሌክትሮን ኦፕቲካል ሲስተም | የኤሌክትሮን ሽጉጥ አይነት | ቅድመ-ማዕከላዊ የተንግስተን ፊላመንት ኤሌክትሮን ሽጉጥ | |
ጥራት | ከፍተኛ የቫኩም ቫክዩም | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
ማጉላት | 1–300,000× (መሰረታዊ ማጉላት) | ||
1–16× (የጨረር ማጉላት) | |||
የፍጥነት ቮልቴጅ | 0.2kV ~ 30kV | ||
የምስል ስርዓት | ማወቂያ | ሁለተኛ ደረጃ የኤሌክትሮን መመርመሪያ (ETD) | |
| የኋላ የተበታተነ ኤሌክትሮን መመርመሪያ ዝቅተኛ የቫኩም ሁለተኛ ደረጃ ኤሌክትሮን ማወቂያ የኃይል መበታተን ስፔክትሮስኮፒ (EDS)፣ ወዘተ. | |||
የምስል ማከማቻ ቅርጸት | TIFF፣ JPG፣ BMP፣ PNG፣ እስከ 48k*32k | ||
ውቅር | የኦፕቲካል ዳሰሳ ተግባር፣ አግድም CCD ካሜራ እና ቋሚ ካሜራ የተገጠመለት | ||
የቫኩም ሲስተም | የቫክዩም ሁነታ | ከፍተኛ የቫኩም ቫክዩም | ከ 5×10⁻⁴ ፓ የተሻለ |
ዝቅተኛ የቫኩም ቫክዩም | 5~1000ፓ | ||
የመቆጣጠሪያ ዘዴ | ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ ቁጥጥር | ||
የናሙና ክፍል | ካሜራ | የኦፕቲካል አሰሳ | |
የክፍል ክትትል ናሙና | |||
የናሙና ደረጃ ውቅር | ባለ 5-ዘንግ ሙሉ በሙሉ በራስ-ሰር የተሰራ የናሙና ደረጃ ሙሉ በሙሉ የተዘጋ ውስጣዊ ሞተር ዲዛይን ያለው | ||
የጉዞ ክልል | ኤክስ:120 ሚሜ | ||
እና:115 ሚሜ | |||
በ:50 ሚሜ | |||
R (ማሽከርከር): 360° ያለማቋረጥ ሊስተካከል የሚችል | |||
ቲ:-10°~+90° | |||
የናሙና የክፍል አቅም | ስፋት፡ 340 ሚሜ ቁመት፡ 274 ሚሜ ጥልቀት፡ 295 ሚሜ | ||
ከፍተኛው የናሙና መጠን | ዲያሜትር፡ 270 ሚሜ ቁመት፡ 53 ሚሜ | ||