Microscopio elettronico a scansione (SEM)
Progetto | Parametro | ||
Sistema ottico elettronico | Tipo di cannone elettronico | Cannone elettronico a filamento di tungsteno precentrato | |
Risoluzione | Alto vuoto | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Ingrandimento | 1–300.000× (ingrandimento di base) | ||
1–16× (ingrandimento ottico) | |||
Tensione di accelerazione | 0,2 kV~30 kV | ||
Sistema di imaging | Rivelatore | Rivelatore di elettroni secondari (ETD) | |
| Rivelatore di elettroni retrodiffusi Rivelatore di elettroni secondari a basso vuoto Spettroscopia a dispersione di energia (EDS), ecc. | |||
Formato di memorizzazione dell'immagine | TIFF, JPG, BMP, PNG, fino a 48k*32k | ||
Configurazione | Funzione di navigazione ottica, dotata di telecamera CCD orizzontale e telecamera verticale | ||
Sistema di aspirazione | Modalità vuoto | Alto vuoto | Meglio di 5×10⁻⁴ Pa |
Basso vuoto | 5~1000 Pa | ||
Metodo di controllo | Controllo completamente automatico | ||
Camera di campionamento | Telecamera | Navigazione ottica | |
Monitoraggio della camera di campionamento | |||
Configurazione della fase di campionamento | Piattaforma portacampioni completamente automatizzata a 5 assi con design motorizzato interno completamente chiuso | ||
Gamma di viaggio | X:120 mm | ||
E:115 mm | |||
CON:50 mm | |||
R (Rotazione): 360° regolabile in continuo | |||
T:-10°~+90° | |||
Capacità della camera di campionamento | Larghezza: 340 mm Altezza: 274 mm Profondità: 295 mm | ||
Dimensione massima del campione | Diametro: 270 mm Altezza: 53 mm | ||


