Microscópio eletrônico de varredura (MEV)
Projeto | Parâmetro | ||
Sistema Óptico Eletrônico | Tipo de canhão de elétrons | Canhão de elétrons com filamento de tungstênio pré-centrado | |
Resolução | Alto vácuo | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Ampliação | 1–300.000× (ampliação básica) | ||
1–16× (ampliação óptica) | |||
Tensão de aceleração | 0,2 kV ~ 30 kV | ||
Sistema de Imagem | Detector | Detector de elétrons secundários (ETD) | |
| detector de elétrons retroespalhados detector de elétrons secundários de baixo vácuo Espectroscopia de dispersão de energia (EDS), etc. | |||
Formato de armazenamento de imagens | TIFF, JPG, BMP, PNG, até 48k*32k | ||
Configuração | Função de navegação óptica, equipada com câmera CCD horizontal e câmera vertical. | ||
Sistema de vácuo | Modo de vácuo | Alto vácuo | Melhor que 5×10⁻⁴ Pa |
Vácuo baixo | 5~1000Pa | ||
Método de controle | Controle totalmente automático | ||
Câmara de Amostras | Câmera | Navegação óptica | |
Monitoramento da câmara de amostras | |||
Configuração de estágio de amostra | Mesa de amostras totalmente automatizada de 5 eixos com design motorizado interno totalmente fechado. | ||
Gama de viagem | X:120 mm | ||
E:115 mm | |||
COM:50 mm | |||
R (Rotação): 360° continuamente ajustável | |||
T:-10° a +90°° | |||
Capacidade da câmara de amostras | Largura: 340 mm Altura: 274 mm Profundidade: 295 mm | ||
Tamanho máximo da amostra | Diâmetro: 270 mm Altura: 53 mm | ||


