Mikroskop Elektronik Skanues (SEM)
Projekti | Parametri | ||
Sistemi Elektronik Optik | Lloji i pistoletës elektronike | Pistol elektroni me filament tungsteni të paraqendruar | |
Rezolucioni | Vakum i Lartë | 5nm@10kV(JL) | |
3nm@30kV(JL) | |||
8nm@3kV(JL) | |||
Zmadhimi | 1–300,000× (zmadhim bazë) | ||
1–16× (zmadhim optik) | |||
Tensioni i përshpejtimit | 0.2kV~30kV | ||
Sistemi i Imazheve | Detektor | Detektor elektronesh sekondar (ETD) | |
| Detektor elektroni i shpërndarë prapa Detektor elektronesh sekondare me vakum të ulët Spektroskopia shpërndarëse e energjisë (EDS), etj. | |||
Formati i Ruajtjes së Imazhit | TIFF, JPG, BMP, PNG, deri në 48k*32k | ||
Konfigurimi | Funksioni i navigimit optik, i pajisur me kamera horizontale CCD dhe kamera vertikale | ||
Sistemi i vakumit | Modaliteti i vakumit | Vakum i Lartë | Më mirë se 5×10⁻⁴ Pa |
Vakum i ulët | 5~1000Pa | ||
Metoda e Kontrollit | Kontroll plotësisht automatik | ||
Dhoma e mostrave | Kamera | Navigimi optik | |
Monitorimi i dhomës së mostrave | |||
Konfigurimi i Fazës së Shembullit | Skenë mostre plotësisht e automatizuar me 5 boshte me dizajn të motorizuar të brendshëm plotësisht të mbyllur | ||
Diapazoni i Udhëtimit | X：120 mm | ||
DHE：115 mm | |||
ME：50 mm | |||
R (Rrotullim): 360° i rregullueshëm vazhdimisht | |||
T：-10°~+90° | |||
Kapaciteti i Dhomës së Mostrave | Gjerësia: 340 mm Lartësia: 274 mm Thellësia: 295 mm | ||
Madhësia Maksimale e Mostrës | Diametri: 270 mm Lartësia: 53 mm | ||