Mikwoskòp Elektwonik Balayage (SEM)

Pwojè

Paramèt

Sistèm Optik Elektwonik

Kalite kanon elektwon

Kanon elektwon filaman tengstèn pre-santre

Rezolisyon

Gwo Vakyòm

5nm@10kV(SE)

3nm@30kV(SE)

8nm@3kV(SE)

Agrandisman

1–300,000× (agrandisman debaz)

1–16× (agrandisman optik)

Vòltaj Akselerasyon

0.2kV ~ 30kV

Sistèm Imaj

Detektè

Detektè elektwon segondè (ETD)

Detektè elektwon retrodifize

Detektè elektwon segondè ki ba vakyòm

Espèktroskopi dispèsyon enèji (EDS), elatriye.

Fòma Depo Imaj

TIFF, JPG, BMP, PNG, jiska 48k * 32k

Konfigirasyon

Fonksyon navigasyon optik, ekipe ak kamera CCD orizontal ak kamera vètikal

Sistèm Vacuum

Mòd Vacuum

Gwo Vakyòm

Pi bon pase 5×10⁻⁴ Pa

Vakyòm ki ba

5 ~ 1000Pa

Metòd Kontwòl

Kontwòl totalman otomatik

Chanm Echantiyon

Kamera

Navigasyon optik

siveyans chanm echantiyon an

Konfigirasyon Egzanp Etap

Platfòm echantiyon 5 aks konplètman otomatik ak yon konsepsyon motè entèn konplètman fèmen

Ranje Vwayaj

X：120 milimèt

EPI：115 milimèt

AVÈK：50 milimèt

R (Wotasyon): 360° reglabl kontinyèlman

T：-10° ~ +90°

Kapasite Chanm Echantiyon an

Lajè: 340 milimèt

Wotè: 274 milimèt

Pwofondè: 295 mm

Gwosè Maksimòm Echantiyon

Dyamèt: 270 mm

Wotè: 53 milimèt