ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಮೈಕ್ರೋಸ್ಕೋಪ್ (SEM)
ಯೋಜನೆ | ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ | ||
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ | ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಗನ್ ಪ್ರಕಾರ | ಪೂರ್ವ-ಕೇಂದ್ರಿತ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಗನ್ | |
ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ | ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ | 5nm @ 10kV(SE) | |
3nm @ 30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
ವರ್ಧನೆ | 1–300,000× (ಮೂಲ ವರ್ಧನೆ) | ||
1–16× (ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ ವರ್ಧನೆ) | |||
ವೇಗವರ್ಧಕ ವೋಲ್ಟೇಜ್ | 0.2ಕೆವಿ~30ಕೆವಿ | ||
ಇಮೇಜಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ | ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ | ದ್ವಿತೀಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ (ETD) | |
| ಬ್ಯಾಕ್ಸ್ಕ್ಯಾಟರ್ಡ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತ ದ್ವಿತೀಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್ ಶಕ್ತಿ ಪ್ರಸರಣ ವರ್ಣಪಟಲ (EDS), ಇತ್ಯಾದಿ. | |||
ಚಿತ್ರ ಸಂಗ್ರಹ ಸ್ವರೂಪ | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k*32k ವರೆಗೆ | ||
ಸಂರಚನೆ | ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ನ್ಯಾವಿಗೇಷನ್ ಕಾರ್ಯ, ಅಡ್ಡಲಾಗಿರುವ ಸಿಸಿಡಿ ಕ್ಯಾಮೆರಾ ಮತ್ತು ಲಂಬ ಕ್ಯಾಮೆರಾದೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ. | ||
ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ | ನಿರ್ವಾತ ಮೋಡ್ | ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ | 5×10⁻⁴ Pa ಗಿಂತ ಉತ್ತಮ |
ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತ | 5~1000ಪ್ಯಾ | ||
ನಿಯಂತ್ರಣ ವಿಧಾನ | ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿಯಂತ್ರಣ | ||
ಮಾದರಿ ಕೊಠಡಿ | ಕ್ಯಾಮೆರಾ | ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಂಚರಣೆ | |
ಮಾದರಿ ಕೊಠಡಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ | |||
ಮಾದರಿ ಹಂತದ ಸಂರಚನೆ | 5-ಅಕ್ಷದ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮಾದರಿ ಹಂತ, ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸುತ್ತುವರಿದ ಆಂತರಿಕ ಮೋಟಾರೀಕೃತ ವಿನ್ಯಾಸದೊಂದಿಗೆ | ||
ಪ್ರಯಾಣ ಶ್ರೇಣಿ | ಸ:120 ಮಿ.ಮೀ. | ||
ಮತ್ತು:115 ಮಿ.ಮೀ. | |||
ಜೊತೆ:50 ಮಿ.ಮೀ. | |||
ಆರ್ (ತಿರುಗುವಿಕೆ): 360° ನಿರಂತರವಾಗಿ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಮಾಡಬಹುದಾದ | |||
ಹ:-10°~+90° | |||
ಮಾದರಿ ಕೊಠಡಿಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | ಅಗಲ: 340 ಮಿ.ಮೀ. ಎತ್ತರ: 274 ಮಿ.ಮೀ. ಆಳ: 295 ಮಿ.ಮೀ. | ||
ಗರಿಷ್ಠ ಮಾದರಿ ಗಾತ್ರ | ವ್ಯಾಸ: 270 ಮಿಮೀ ಎತ್ತರ: 53 ಮಿ.ಮೀ. | ||