Սկանավորող էլեկտրոնային մանրադիտակ (SEM)
Նախագիծ | Պարամետր | ||
Էլեկտրոնային օպտիկական համակարգ | Էլեկտրոնային ատրճանակի տեսակ | Նախակենտրոնացված վոլֆրամե թելիկավոր էլեկտրոնային թնդանոթ | |
Լուծաչափ | Բարձր վակուում | 5 նմ @ 10 կՎ (SE) | |
3 նմ @ 30 կՎ (SE) | |||
8 նմ @ 3 կՎ (SE) | |||
Մեծացում | 1–300,000× (հիմնական մեծացում) | ||
1–16× (օպտիկական մեծացում) | |||
Արագացման լարում | 0.2 կՎ~30 կՎ | ||
Պատկերման համակարգ | Դետեկտոր | Երկրորդային էլեկտրոնային դետեկտոր (ETD) | |
| Հետադարձ ցրված էլեկտրոնային դետեկտոր Ցածր վակուումային երկրորդային էլեկտրոնային դետեկտոր Էներգիայի դիսպերսիոն սպեկտրոսկոպիա (EDS) և այլն։ | |||
Պատկերի պահպանման ձևաչափ | TIFF, JPG, BMP, PNG, մինչև 48կբ*32կբ | ||
Կարգավորում | Օպտիկական նավիգացիոն ֆունկցիա, հագեցած հորիզոնական CCD տեսախցիկով և ուղղահայաց տեսախցիկով | ||
Վակուումային համակարգ | Վակուումային ռեժիմ | Բարձր վակուում | Ավելի լավ է, քան 5×10⁻⁴ Պա |
Ցածր վակուում | 5~1000 Պա | ||
Վերահսկողության մեթոդ | Լիովին ավտոմատ կառավարում | ||
Նմուշային խցիկ | Տեսախցիկ | Օպտիկական նավիգացիա | |
Նմուշառման խցիկի մոնիթորինգ | |||
Նմուշային փուլի կոնֆիգուրացիա | 5-առանցքային լիովին ավտոմատացված նմուշառման բեմ՝ լիովին փակ ներքին շարժիչային դիզայնով | ||
Ճանապարհորդության միջակայք | X：120 մմ | ||
ԵՎ：115 մմ | |||
ՀԵՏ：50 մմ | |||
R (պտտում): 360° անընդհատ կարգավորելի | |||
Տ：-10°~+90° | |||
Նմուշառման խցիկի տարողունակություն | Լայնությունը՝ 340 մմ Բարձրություն՝ 274 մմ Խորություն՝ 295 մմ | ||
Առավելագույն նմուշի չափը | Տրամագիծը՝ 270 մմ Բարձրություն՝ 53 մմ | ||