Mìcrosgop Dealanach Sganaidh (SEM)
Pròiseact | Paramadair | ||
Siostam Optaigeach Dealanach | Seòrsa Gunna Dealanach | Gunna dealanach filament tungsten ro-mheadhanaichte | |
Rùn | Falamh Àrd | 5nm@10kV (SE) | |
3nm@30kV (SE) | |||
8nm@3kV (SE) | |||
Meudachadh | 1–300,000× (meudachadh bunaiteach) | ||
1–16× (meudachadh optaigeach) | |||
Bholtaids Luathachaidh | 0.2kV ~ 30kV | ||
Siostam Ìomhaighean | Lorgaire | Lorgaire electron àrd-sgoile (ETD) | |
| Lorgaire dealanach air ais-sgapte Lorgaire electron àrd-sgoile falamh ìosal Speictreasgopaidh sgapadh lùtha (EDS), msaa. | |||
Cruth Stòraidh Ìomhaigh | TIFF, JPG, BMP, PNG, suas ri 48k * 32k | ||
Rèiteachadh | Gnìomh seòlaidh optigeach, uidheamaichte le camara CCD còmhnard agus camara dìreach | ||
Siostam Falmhachaidh | Modh Falmhachaidh | Falamh Àrd | Nas fheàrr na 5 × 10⁻⁴ Pa |
Falamh Ìosal | 5 ~ 1000Pa | ||
Modh Smachd | Smachd gu tur fèin-ghluasadach | ||
Seòmar nan Sampallan | Camara | Seòladh optaigeach | |
Sgrùdadh seòmar sampall | |||
Rèiteachadh Àrd-ùrlair Eisimpleir | Àrd-ùrlar sampall làn-fèin-ghluasadach 5-axis le dealbhadh motair a-staigh làn-dùinte | ||
Raon Siubhail | X：120 mm | ||
AGUS：115 mm | |||
LE：50 mm | |||
R (Rotadh): 360° atharrachail gu leantainneach | |||
T：-10°~+90° | |||
Comas Seòmar nan Sampallan | Leud: 340 mm Àirde: 274 mm Doimhneachd: 295 mm | ||
Meud Sampall as Motha | Trast-thomhas: 270 mm Àirde: 53 mm | ||