स्कॅनिंग इलेक्ट्रॉन मायक्रोस्कोप (SEM)

प्रकल्प

पॅरामीटर

इलेक्ट्रॉन ऑप्टिकल सिस्टम

इलेक्ट्रॉन गन प्रकार

प्री-सेंटर्ड टंगस्टन फिलामेंट इलेक्ट्रॉन गन

ठराव

उच्च व्हॅक्यूम

5nm@10kV(SE)

३nm@३०kV(SE)

८nm@३kV(SE)

विशालन

१–३००,०००× (मूलभूत आवर्धन)

१–१६× (ऑप्टिकल आवर्धन)

प्रवेग व्होल्टेज

०.२ केव्ही ~ ३० केव्ही

इमेजिंग सिस्टम

डिटेक्टर

सेकंडरी इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर (ETD)

बॅकस्कॅटर्ड इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर

कमी व्हॅक्यूम दुय्यम इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर

ऊर्जा विखुरण स्पेक्ट्रोस्कोपी (EDS), इत्यादी.

प्रतिमा साठवणूक स्वरूप

TIFF, JPG, BMP, PNG, ४८k*३२k पर्यंत

कॉन्फिगरेशन

ऑप्टिकल नॅव्हिगेशन कार्यप्रणाली, जी हॉरिझॉन्टल सीसीडी कॅमेरा आणि व्हर्टिकल कॅमेऱ्याने सुसज्ज आहे.

व्हॅक्यूम सिस्टम

व्हॅक्यूम मोड

उच्च व्हॅक्यूम

5×10⁻⁴ Pa पेक्षा चांगले

कमी व्हॅक्यूम

५~१००० पास्कल

नियंत्रण पद्धत

पूर्णपणे स्वयंचलित नियंत्रण

नमुना कक्ष

कॅमेरा

ऑप्टिकल नेव्हिगेशन

नमुना कक्ष निरीक्षण

नमुना स्टेज कॉन्फिगरेशन

पूर्णपणे बंदिस्त अंतर्गत मोटरयुक्त डिझाइनसह ५-अक्षीय पूर्णपणे स्वयंचलित सॅम्पल स्टेज

प्रवास श्रेणी

एक्स:१२० मिमी

आणि:११५ मिमी

सोबत:५० मिमी

R (फिरणे): ३६०° सतत समायोजित करण्यायोग्य

टी:-१०°~+९०°

नमुना कक्ष क्षमता

रुंदी: ३४० मिमी

उंची: २७४ मिमी

खोली: २९५ मिमी

कमाल नमुना आकार

व्यास: २७० मिमी

उंची: ५३ मिमी