Skananta Elektrona Mikroskopo (SEM)
Projekto | Parametro | ||
Elektrona Optika Sistemo | Tipo de elektronkanono | Antaŭ-centrita volframa filamento elektronkanono | |
Rezolucio | Alta Vakuo | 5nm@10kV(SE) | |
3nm je 30kV (SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Pligrandigo | 1–300,000× (baza pligrandigo) | ||
1–16× (optika pligrandigo) | |||
Akcela Tensio | 0.2kV~30kV | ||
Bildiga Sistemo | Detektilo | Sekundara elektrona detektilo (ETD) | |
| Retrodisĵetita elektrona detektilo Malalta vakua sekundara elektrona detektilo Energi-dispersa spektroskopio (EDS), ktp. | |||
Bilda Stokado-Formato | TIFF, JPG, BMP, PNG, ĝis 48k*32k | ||
Agordo | Optika navigada funkcio, ekipita per horizontala CCD-fotilo kaj vertikala fotilo | ||
Vakua Sistemo | Vakua Reĝimo | Alta Vakuo | Pli bona ol 5×10⁻⁴ Pa |
Malalta Vakuo | 5~1000Pa | ||
Kontrola Metodo | Plene aŭtomata kontrolo | ||
Specimena Ĉambro | Fotilo | Optika navigado | |
Specimenkamera monitorado | |||
Specimena Sceneja Agordo | 5-aksa plene aŭtomatigita specimenstadio kun tute enfermita interna motorizita dezajno | ||
Vojaĝa Gamo | X：120 milimetroj | ||
KAJ：115 milimetroj | |||
KUN：50 milimetroj | |||
R (Rotacio): 360° kontinue alĝustigebla | |||
T：-10°~+90° | |||
Specimena Ĉambra Kapacito | Larĝo: 340 mm Alto: 274 mm Profundo: 295 mm | ||
Maksimuma Specimena Grando | Diametro: 270 mm Alto: 53 mm | ||