Rasterelektronenmikroskop (REM)
Projekt | Parameter | ||
Elektronenoptisches System | Elektronenkanonentyp | Vorzentrierte Wolframdraht-Elektronenkanone | |
Auflösung | Hochvakuum | 5 nm bei 10 kV (SE) | |
3 nm bei 30 kV (SE) | |||
8 nm bei 3 kV (SE) | |||
Vergrößerung | 1–300.000× (Grundvergrößerung) | ||
1–16× (optische Vergrößerung) | |||
Beschleunigungsspannung | 0,2 kV bis 30 kV | ||
Bildgebungssystem | Detektor | Sekundärelektronendetektor (ETD) | |
| Rückstreuelektronendetektor Sekundärelektronendetektor im Niedervakuum Energiedispersive Spektroskopie (EDS) usw. | |||
Bildspeicherformat | TIFF, JPG, BMP, PNG, bis zu 48k*32k | ||
Konfiguration | Optische Navigationsfunktion, ausgestattet mit horizontaler CCD-Kamera und vertikaler Kamera | ||
Vakuumsystem | Vakuummodus | Hochvakuum | Besser als 5×10⁻⁴ Pa |
Niedriges Vakuum | 5~1000Pa | ||
Kontrollmethode | Vollautomatische Steuerung | ||
Probenkammer | Kamera | Optische Navigation | |
Überwachung der Probenkammer | |||
Beispielkonfiguration | 5-achsiger, vollautomatischer Probentisch mit vollständig geschlossenem, internem Motorantrieb | ||
Reisebereich | X：120 mm | ||
UND：115 mm | |||
MIT：50 mm | |||
R (Rotation): 360° stufenlos einstellbar | |||
T：-10°~+90° | |||
Kapazität der Probenkammer | Breite: 340 mm Höhe: 274 mm Tiefe: 295 mm | ||
Maximale Stichprobengröße | Durchmesser: 270 mm Höhe: 53 mm | ||