Skanningselektronmikroskop (SEM)
Prosjekt | Parameter | ||
Elektronoptisk system | Elektronpistoltype | Forsentrert wolframfilamentelektronkanon | |
Oppløsning | Høyvakuum | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV (SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Forstørrelse | 1–300 000× (grunnleggende forstørrelse) | ||
1–16× (optisk forstørrelse) | |||
Akselerasjonsspenning | 0.2kV~30 kV | ||
Avbildningssystem | Detektor | Sekundær elektrondetektor (ETD) | |
| Tilbakespredt elektrondetektor Lavvakuum sekundær elektrondetektor Energidispersiv spektroskopi (EDS), etc. | |||
Bildelagringsformat | TIFF, JPG, BMP, PNG, opptil 48k * 32k | ||
Konfigurasjon | Optisk navigasjonsfunksjon, utstyrt med horisontalt CCD-kamera og vertikalt kamera | ||
Vakuumsystem | Vakuummodus | Høyvakuum | Bedre enn 5×10⁻⁴ Pa |
Lavt vakuum | 5~1000Pa | ||
Kontrollmetode | Helautomatisk kontroll | ||
Prøvekammer | Kamera | Optisk navigasjon | |
Overvåking av prøvekammer | |||
Eksempel på scenekonfigurasjon | 5-akset helautomatisert prøvetrinn med fullstendig lukket intern motorisert design | ||
Rekkevidde | X：120 mm | ||
OG：115 mm | |||
MED：50 mm | |||
R (Rotasjon): 360° kontinuerlig justerbar | |||
T：-10°~+90° | |||
Prøvekammerkapasitet | Bredde: 340 mm Høyde: 274 mm Dybde: 295 mm | ||
Maksimal utvalgsstørrelse | Diameter: 270 mm Høyde: 53 mm | ||