Ηλεκτρονικό Μικροσκόπιο Σάρωσης (SEM)
Σχέδιο | Παράμετρος | ||
Ηλεκτρονικό Οπτικό Σύστημα | Τύπος ηλεκτρονικού πιστολιού | Προκεντρωμένο ηλεκτρονικό πυροβόλο νήμα βολφραμίου | |
Ψήφισμα | Υψηλό κενό | 5nm@10kV(ΝΑ) | |
3nm@30kV(ΝΑ) | |||
8nm@3kV(ΝΑ) | |||
Μεγέθυνση | 1–300.000× (βασική μεγέθυνση) | ||
1–16× (οπτική μεγέθυνση) | |||
Τάση επιτάχυνσης | 0,2kV~30kV | ||
Σύστημα απεικόνισης | Ανιχνευτής | Δευτερογενής ανιχνευτής ηλεκτρονίων (ETD) | |
| Ανιχνευτής οπισθοσκέδασης ηλεκτρονίων Ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων χαμηλού κενού Φασματοσκοπία ενεργειακής διασποράς (EDS), κ.λπ. | |||
Μορφή αποθήκευσης εικόνας | TIFF, JPG, BMP, PNG, έως 48k*32k | ||
Διαμόρφωση | Λειτουργία οπτικής πλοήγησης, εξοπλισμένη με οριζόντια κάμερα CCD και κάθετη κάμερα | ||
Σύστημα κενού | Λειτουργία κενού | Υψηλό κενό | Καλύτερο από 5×10⁻⁴ Pa |
Χαμηλό κενό | 5~1000Pa | ||
Μέθοδος ελέγχου | Πλήρως αυτόματος έλεγχος | ||
Θάλαμος δειγμάτων | Κάμερα | Οπτική πλοήγηση | |
Παρακολούθηση θαλάμου δειγματοληψίας | |||
Δείγμα διαμόρφωσης σταδίου | Πλήρως αυτοματοποιημένη δειγματοληπτική βάση 5 αξόνων με πλήρως κλειστό εσωτερικό μηχανοκίνητο σχεδιασμό | ||
Εύρος ταξιδιού | Χ：120 χιλιοστά | ||
ΚΑΙ：115 χιλιοστά | |||
ΜΕ：50 χιλιοστά | |||
R (Περιστροφή): 360° συνεχώς ρυθμιζόμενο | |||
Τ：-10°~+90° | |||
Χωρητικότητα θαλάμου δειγματοληψίας | Πλάτος: 340 χιλιοστά Ύψος: 274 χιλιοστά Βάθος: 295 χιλιοστά | ||
Μέγιστο μέγεθος δείγματος | Διάμετρος: 270 χιλιοστά Ύψος: 53 χιλιοστά | ||