Сканерлөөчү электрондук микроскоп (SEM)
Долбоор | Параметр | ||
Электрондук-оптикалык система | Электрондук тапанчанын түрү | Алдын ала борборлоштурулган вольфрам жипчелүү электрондук тапанча | |
Чечилиши | Жогорку вакуум | 5нм @ 10кВ (ТК) | |
3нм @ 30кВ (Түштүк-чыгыш) | |||
8нм @ 3кВ (ТК) | |||
Чоңойтуу | 1–300 000× (жөнөкөй чоңойтуу) | ||
1–16× (оптикалык чоңойтуу) | |||
Ылдамдануу чыңалуусу | 0.2 кВ ~ 30 кВ | ||
Сүрөт тартуу системасы | Детектор | Экинчилик электрондук детектор (ЭЭД) | |
| Артка чачыраган электрон детектору Төмөн вакуумдук экинчилик электрон детектору Энергияны дисперсиялык спектроскопия (ЭДС) ж.б. | |||
Сүрөт сактоо форматы | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k*32k чейин | ||
Конфигурация | Оптикалык навигация функциясы, горизонталдуу CCD камера жана вертикалдык камера менен жабдылган | ||
Вакуум системасы | Вакуум режими | Жогорку вакуум | 5×10⁻⁴ Падан жакшыраак |
Төмөнкү вакуум | 5~1000Па | ||
Башкаруу ыкмасы | Толугу менен автоматтык башкаруу | ||
Үлгү камерасы | Камера | Оптикалык навигация | |
Үлгү камерасын көзөмөлдөө | |||
Үлгү этап конфигурациясы | Толугу менен жабык ички моторлоштурулган дизайны бар 5-огу толугу менен автоматташтырылган үлгү баскычы | ||
Саякат аралыгы | X：120 мм | ||
ЖАНА：115 мм | |||
МЕНЕН：50 мм | |||
R (Айлануу): 360° үзгүлтүксүз жөнгө салынат | |||
Т：-10°~+90° | |||
Үлгү камерасынын сыйымдуулугу | Туурасы: 340 мм Бийиктиги: 274 мм Тереңдиги: 295 мм | ||
Максималдуу үлгү өлчөмү | Диаметри: 270 мм Бийиктиги: 53 мм | ||