Mikroskop Éléktron Pindai (SEM)

Proyék

Parameter

Sistem Optik Éléktron

Jenis Senapan Éléktron

Pistol éléktron filamén tungsten anu tos dipusatkeun

Résolusi

Vakum Tinggi

5nm@10kV(TE)

3nm@30kV(SE)

8nm@3kV(SE)

Pembesaran

1–300.000× (pembesaran dasar)

1–16× (pembesaran optik)

Tegangan Akselerasi

0.2kV ~ 30kV

Sistem Pencitraan

Detektor

Detektor éléktron sekundér (ETD)

Detektor éléktron anu sumebar balik

Detektor éléktron sekundér vakum rendah

Spéktroskopi dispersif énergi (EDS), jsb.

Format Panyimpenan Gambar

TIFF, JPG, BMP, PNG, nepi ka 48k*32k

Konfigurasi

Fungsi navigasi optik, dilengkepan kaméra CCD horizontal sareng kaméra vertikal

Sistem Vakum

Modeu Vakum

Vakum Tinggi

Leuwih hade tibatan 5×10⁻⁴ Pa

Vakum Leutik

5 ~ 1000Pa

Métode Kontrol

Kontrol otomatis pinuh

Kamar Sampel

Kaméra

Navigasi optik

Pemantauan kamar sampel

Konfigurasi Tahap Sampel

Tahap sampel otomatis pinuh 5-sumbu kalayan desain motor internal anu katutup pinuh

Rentang Perjalanan

X：120 mm

Sareng：115 mm

SAreng：50 mm

R (Rotasi): 360° bisa disaluyukeun terus-terusan

T：-10°~+90°

Kapasitas Kamar Sampel

Lebar: 340 mm

Jangkungna: 274 mm

Jerona: 295 mm

Ukuran Sampel Maksimum

Diaméter: 270 mm

Jangkungna: 53 mm