Сканнердах Электрон Микроскоп (SEM)
Төсөл | Параметр | ||
Электрон оптик систем | Электрон бууны төрөл | Урьдчилан төвлөрсөн вольфрамын судалтай электрон буу | |
Шийдвэр | Өндөр вакуум | 5нм@10кВ(SE) | |
3нм@30кВ(ЗХ) | |||
8нм@3кВ(SE) | |||
Томруулах | 1–300,000× (үндсэн томруулалт) | ||
1–16× (оптик томруулалт) | |||
Хурдатгалын хүчдэл | 0.2кВ~30кВ | ||
Дүрслэлийн систем | Илрүүлэгч | Хоёрдогч электрон илрүүлэгч (ETD) | |
| Ар талын тархсан электрон илрүүлэгч Бага вакуумтай хоёрдогч электрон илрүүлэгч Эрчим хүчний тархалтын спектроскопи (ЭДС) гэх мэт. | |||
Зургийн хадгалалтын формат | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k*32k хүртэл | ||
Тохиргоо | Хэвтээ CCD камер болон босоо камераар тоноглогдсон оптик навигацийн функц | ||
Вакуум систем | Вакуум горим | Өндөр вакуум | 5×10⁻⁴ Па-аас илүү |
Бага вакуум | 5~1000Па | ||
Хяналтын арга | Бүрэн автомат удирдлага | ||
Дээжийн танхим | Камер | Оптик навигаци | |
Дээжийн камерын хяналт | |||
Жишээ үе шатны тохиргоо | Бүрэн хаалттай дотор моторжуулсан загвартай, 5 тэнхлэгтэй бүрэн автоматжуулсан дээж авах шат | ||
Аяллын хүрээ | X：120 мм | ||
БАС：115 мм | |||
Хамт：50 мм | |||
R (Эргэлт): 360° тасралтгүй тохируулж болно | |||
Т：-10°~+90° | |||
Дээжийн танхимын багтаамж | Өргөн: 340 мм Өндөр: 274 мм Гүн: 295 мм | ||
Хамгийн их түүврийн хэмжээ | Диаметр: 270 мм Өндөр: 53 мм | ||