Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM)
Proje | Parametre | ||
Elektron Optik Sistemi | Elektron Tabancası Tipi | Önceden merkezlenmiş tungsten filamanlı elektron tabancası | |
Çözünürlük | Yüksek Vakum | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Büyütme | 1–300.000× (temel büyütme) | ||
1–16 kat (optik büyütme) | |||
Hızlanma Gerilimi | 0,2kV~30kV | ||
Görüntüleme Sistemi | Dedektör | İkincil elektron dedektörü (ETD) | |
| Geri saçılan elektron dedektörü Düşük vakumlu ikincil elektron dedektörü Enerji dağılımlı spektroskopi (EDS), vb. | |||
Görüntü Depolama Formatı | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k*32k'ya kadar | ||
Yapılandırma | Yatay CCD kamera ve dikey kamera ile donatılmış optik navigasyon fonksiyonu. | ||
Vakum Sistemi | Vakum Modu | Yüksek Vakum | 5×10⁻⁴ Pa'dan daha iyi |
Düşük Vakum | 5~1000 Pa | ||
Kontrol Yöntemi | Tam otomatik kontrol | ||
Numune Haznesi | Kamera | Optik navigasyon | |
Numune haznesi izleme | |||
Örnek Aşama Yapılandırması | Tamamen kapalı, içten motorlu tasarıma sahip, 5 eksenli tam otomatik numune tablası | ||
Seyahat Aralığı | X:120 mm | ||
VE:115 mm | |||
İLE:50 mm | |||
R (Döndürme): 360° sürekli ayarlanabilir | |||
T:-10°~+90° | |||
Numune Haznesi Kapasitesi | Genişlik: 340 mm Yükseklik: 274 mm Derinlik: 295 mm | ||
Maksimum Örneklem Boyutu | Çap: 270 mm Yükseklik: 53 mm | ||