Сканерлаучы электрон микроскоп (SEM)
Проект | Параметр | ||
Электрон-оптик система | Электрон мылтык төре | Алдан үзәкләштерелгән вольфрам җепселле электрон мылтык | |
Чишелеш | Югары вакуум | 5нм @10кВ (Көнчыгыш-көнчыгыш) | |
3нм @30кВ (Көнчыгыш-көнчыгыш) | |||
8нм @ 3кВ (Көнчыгыш-көнчыгыш) | |||
Зурлау | 1–300,000× (гади зурайту) | ||
1–16× (оптик зурайту) | |||
Тизләнү көчәнеше | 0.2 кВ ~ 30 кВ | ||
Сурәтләү системасы | Детектор | Икенчел электрон детектор (ETD) | |
| Кире таралган электрон детекторы Түбән вакуумлы икенчел электрон детекторы Энергия дисперсия спектроскопиясе (ЭДС) һ.б. | |||
Рәсемнәрне саклау форматы | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k*32k кадәр | ||
Конфигурация | Оптик навигация функциясе, горизонталь CCD камера һәм вертикаль камера белән җиһазландырылган | ||
Вакуум системасы | Вакуум режимы | Югары вакуум | 5×10⁻⁴ Па-дан яхшырак |
Түбән вакуум | 5~1000Па | ||
Контроль ысулы | Тулысынча автоматик идарә итү | ||
Үрнәк палатасы | Камера | Оптик навигация | |
Үрнәк камерасын күзәтү | |||
Үрнәк этап конфигурациясе | Тулысынча ябык эчке моторлаштырылган конструкцияле 5 күчәрле тулысынча автоматлаштырылган үрнәк этабы | ||
Сәяхәт диапазоны | X：120 мм | ||
ҺӘМ：115 мм | |||
БЕЛӘН：50 мм | |||
R (Әйләнү): 360° өзлексез көйләнә | |||
Т：-10°~+90° | |||
Үрнәк камерасы сыйдырышлыгы | Киңлеге: 340 мм Биеклеге: 274 мм Тирәнлек: 295 мм | ||
Максималь үрнәк күләме | Диаметры: 270 мм Биеклеге: 53 мм | ||