Skanerlovchi elektron mikroskop (SEM)
Loyiha | Parametr | ||
Elektron optik tizim | Elektron qurol turi | Oldindan markazlashtirilgan volfram filamentli elektron qurol | |
Ruxsat | Yuqori vakuum | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Kattalashtirish | 1–300 000× (oddiy kattalashtirish) | ||
1–16× (optik kattalashtirish) | |||
Tezlanish kuchlanishi | 0.2kV ~ 30kV | ||
Tasvirlash tizimi | Detektor | Ikkilamchi elektron detektori (ETD) | |
| Orqaga sochilgan elektron detektori Past vakuumli ikkilamchi elektron detektori Energiya dispersiyasi spektroskopiyasi (EDS) va boshqalar. | |||
Rasm saqlash formati | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k * 32k gacha | ||
Konfiguratsiya | Gorizontal CCD kamera va vertikal kamera bilan jihozlangan optik navigatsiya funksiyasi | ||
Vakuum tizimi | Vakuum rejimi | Yuqori vakuum | 5×10⁻⁴ Pa dan yaxshiroq |
Past vakuum | 5~1000Pa | ||
Boshqarish usuli | To'liq avtomatik boshqaruv | ||
Namuna palatasi | Kamera | Optik navigatsiya | |
Namuna kamerasini monitoring qilish | |||
Namuna bosqichi konfiguratsiyasi | To'liq yopiq ichki motorli dizaynga ega 5 o'qli to'liq avtomatlashtirilgan namunaviy bosqich | ||
Sayohat oralig'i | X:120 mm | ||
VA:115 mm | |||
BILAN:50 mm | |||
R (Aylanish): 360° doimiy ravishda sozlanishi | |||
T:-10°~+90° | |||
Namuna kamerasining sig'imi | Kengligi: 340 mm Balandligi: 274 mm Chuqurligi: 295 mm | ||
Maksimal namuna hajmi | Diametri: 270 mm Balandligi: 53 mm | ||


