Skandeerelektronmikroskoop (SEM)

Projek

Parameter

Elektron Optiese Stelsel

Elektrongeweertipe

Voorgesentreerde wolframfilament-elektrongeweer

Resolusie

Hoë vakuum

5nm@10kV(SO)

3nm@30kV(SO)

8nm@3kV(SO)

Vergroting

1–300 000× (basiese vergroting)

1–16× (optiese vergroting)

Versnellingspanning

0.2kV~30kV

Beeldstelsel

Detektor

Sekondêre elektrondetektor (ETD)

Terugverspreide elektrondetektor

Lae vakuum sekondêre elektrondetektor

Energiedispersiewe spektroskopie (EDS), ens.

Beeldbergingsformaat

TIFF, JPG, BMP, PNG, tot 48k*32k

Konfigurasie

Optiese navigasiefunksie, toegerus met horisontale CCD-kamera en vertikale kamera

Vakuumstelsel

Vakuummodus

Hoë vakuum

Beter as 5×10⁻⁴ Pa

Lae Vakuum

5~1000Pa

Beheermetode

Volledig outomatiese beheer

Monsterkamer

Kamera

Optiese navigasie

Monsterkamermonitering

Voorbeeldstadiumkonfigurasie

5-as volledig outomatiese monsterfase met volledig ingeslote interne gemotoriseerde ontwerp

Reisbereik

X：120 mm

EN：115 mm

MET：50 mm

R (Rotasie): 360° deurlopend verstelbaar

T：-10°~+90°

Monsterkamerkapasiteit

Breedte: 340 mm

Hoogte: 274 mm

Diepte: 295 mm

Maksimum Steekproefgrootte

Deursnee: 270 mm

Hoogte: 53 mm