Microscopio electrónico de barrido (MEB)
Proyecto | Parámetro | ||
Sistema óptico electrónico | Cañón de electrones tipo cañón | Cañón de electrones con filamento de tungsteno precentrado | |
Resolución | Alto vacío | 5 nm a 10 kV (SE) | |
3 nm a 30 kV (SE) | |||
8 nm a 3 kV (SE) | |||
Aumento | 1–300.000× (aumento básico) | ||
1–16× (aumento óptico) | |||
Voltaje de aceleración | 0,2 kV~30 kV | ||
Sistema de imágenes | Detector | Detector de electrones secundarios (ETD) | |
| Detector de electrones retrodispersados Detector de electrones secundarios de bajo vacío Espectroscopia de energía dispersiva (EDS), etc. | |||
Formato de almacenamiento de imágenes | TIFF, JPG, BMP, PNG, hasta 48k*32k | ||
Configuración | Función de navegación óptica, equipada con cámara CCD horizontal y cámara vertical. | ||
Sistema de vacío | Modo de vacío | Alto vacío | Mejor que 5×10⁻⁴ Pa |
Bajo vacío | 5~1000 Pa | ||
Método de control | Control totalmente automático | ||
Cámara de muestras | Cámara | Navegación óptica | |
Monitoreo de la cámara de muestras | |||
Configuración de la etapa de muestra | Plataforma de muestras totalmente automatizada de 5 ejes con diseño motorizado interno completamente cerrado. | ||
Gama de viajes | incógnita:120 mm | ||
Y:115 mm | |||
CON:50 mm | |||
R (Rotación): Ajustable de forma continua en 360° | |||
T:-10°~+90° | |||
Capacidad de la cámara de muestras | Ancho: 340 mm Altura: 274 mm Profundidad: 295 mm | ||
Tamaño máximo de muestra | Diámetro: 270 mm Altura: 53 mm | ||


