Mikroskopju Elettroniku tal-Iskannjar (SEM)
Proġett | Parametru | ||
Sistema Ottika Elettronika | Tip ta' Pistola Elettronika | Kanun elettroniku b'filament tat-tungstenu ċċentrat minn qabel | |
Riżoluzzjoni | Vakwu Għoli | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
Ingrandiment | 1–300,000× (ingrandiment bażiku) | ||
1–16× (ingrandiment ottiku) | |||
Vultaġġ ta' Aċċelerazzjoni | 0.2kV ~ 30kV | ||
Sistema tal-Immaġini | Ditekter | Ditekter tal-elettroni sekondarji (ETD) | |
| Ditekter tal-elettroni mxerrda lura Ditekter tal-elettroni sekondarji b'vakwu baxx Spettroskopija tad-dispersjoni tal-enerġija (EDS), eċċ. | |||
Format tal-Ħażna tal-Immaġni | TIFF, JPG, BMP, PNG, sa 48k * 32k | ||
Konfigurazzjoni | Funzjoni ta' navigazzjoni ottika, mgħammra b'kamera CCD orizzontali u kamera vertikali | ||
Sistema tal-Vakwu | Modalità tal-Vakwu | Vakwu Għoli | Aħjar minn 5×10⁻⁴ Pa |
Vakwu Baxx | 5~1000Pa | ||
Metodu ta' Kontroll | Kontroll kompletament awtomatiku | ||
Kamra tal-Kampjun | Kamera | Navigazzjoni ottika | |
Monitoraġġ tal-kamra tal-kampjun | |||
Konfigurazzjoni tal-Istadju tal-Kampjun | Stadju tal-kampjunar kompletament awtomatizzat b'5 assi b'disinn motorizzat intern magħluq kompletament | ||
Firxa tal-Ivvjaġġar | X:120 mm | ||
U:115 mm | |||
MA':50 mm | |||
R (Rotazzjoni): 360° aġġustabbli kontinwament | |||
T:-10°~+90° | |||
Kapaċità tal-Kamra tal-Kampjun | Wisa': 340 mm Għoli: 274 mm Fond: 295 mm | ||
Daqs Massimu tal-Kampjun | Dijametru: 270 mm Għoli: 53 mm | ||


