Микроскопи электронии сканкунанда (SEM)
Лоиҳа | Параметр | ||
Системаи оптикии электронӣ | Навъи таппончаи электронӣ | Туфанги электронии филизии волфрами пешакӣ марказонидашуда | |
Қарор | Вакууми баланд | 5нм @ 10кВ (SE) | |
3нм @ 30кВ (SE) | |||
8нм @ 3кВ (SE) | |||
Калонкунӣ | 1–300,000× (бузургкунии асосӣ) | ||
1–16× (калонкунии оптикӣ) | |||
Шиддати шитоб | 0.2 кВ ~ 30 кВ | ||
Системаи тасвирӣ | Детектор | Детектори электронии дуюмдараҷа (ETD) | |
| Детектори электронии парокандашудаи ақиб Детектори электронии дуюмдараҷаи вакуумии паст Спектроскопияи парокандагии энергия (EDS) ва ғайра. | |||
Формати нигоҳдории тасвир | TIFF, JPG, BMP, PNG, то 48k*32k | ||
Конфигуратсия | Функсияи навигатсияи оптикӣ, ки бо камераи CCD уфуқӣ ва камераи амудӣ муҷаҳҳаз шудааст | ||
Системаи чангкашак | Реҷаи чангкашак | Вакууми баланд | Беҳтар аз 5×10⁻⁴ Па |
Вакууми паст | 5~1000Па | ||
Усули назорат | Идоракунии пурра автоматӣ | ||
Палатаи намунавӣ | Камера | Навигатсияи оптикӣ | |
Мониторинги камераи намунавӣ | |||
Конфигуратсияи марҳилаи намунавӣ | Марҳилаи намунавии пурра автоматӣшудаи 5-меҳварӣ бо тарҳи пурра пӯшидашудаи дохилии мотордор | ||
Диапазони сафар | X：120 мм | ||
ВА：115 мм | |||
БО：50 мм | |||
R (Гармкунӣ): 360° пайваста танзимшаванда | |||
Т：-10°~+90° | |||
Иқтидори палатаи намунавӣ | Паҳно: 340 мм Баландӣ: 274 мм Чуқурӣ: 295 мм | ||
Андозаи максималии намуна | Диаметр: 270 мм Баландӣ: 53 мм | ||