Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ)
Проект | Параметр | ||
Электронно-оптическая система | Электронная пушка | Электронная пушка с предварительно центрированной вольфрамовой нитью | |
Разрешение | Высокий вакуум | 5 нм при 10 кВ (SE) | |
3 нм при 30 кВ (SE) | |||
8 нм при 3 кВ (SE) | |||
Увеличение | 1–300 000× (базовое увеличение) | ||
1–16× (оптическое увеличение) | |||
Напряжение ускорения | 0,2 кВ~30 кВ | ||
Система визуализации | Детектор | Детектор вторичных электронов (ETD) | |
| Детектор обратнорассеянных электронов Низковалульный детектор вторичных электронов Энергодисперсионная спектроскопия (ЭДС) и др. | |||
Формат хранения изображений | TIFF, JPG, BMP, PNG, до 48k*32k | ||
Конфигурация | Функция оптической навигации, оснащенная горизонтальной ПЗС-камерой и вертикальной камерой. | ||
Вакуумная система | Режим вакуума | Высокий вакуум | Лучше, чем 5×10⁻⁴ Па |
Низкий вакуум | 5~1000 Па | ||
Метод контроля | Полностью автоматическое управление | ||
Камера для образцов | Камера | Оптическая навигация | |
мониторинг камеры для отбора проб | |||
Конфигурация этапа выборки | 5-осевой полностью автоматизированный предметный столик с полностью закрытой внутренней моторизованной конструкцией. | ||
Диапазон перемещения | X：120 мм | ||
И：115 мм | |||
С：50 мм | |||
R (Вращение): плавная регулировка на 360° | |||
Т：-10°~+90° | |||
Вместимость камеры для образцов | Ширина: 340 мм Высота: 274 мм Глубина: 295 мм | ||
Максимальный размер выборки | Диаметр: 270 мм Высота: 53 мм | ||