Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Dự án

Tham số

Hệ thống quang điện tử

Súng điện tử loại

Súng bắn electron dây tóc vonfram định tâm trước

Nghị quyết

Chân không cao

5nm@10kV(SE)

3nm@30kV(SE)

8nm@3kV(SE)

Độ phóng đại

1–300.000× (độ phóng đại cơ bản)

1–16× (độ phóng đại quang học)

Điện áp gia tốc

0,2kV~30kV

Hệ thống hình ảnh

Máy dò

Bộ dò điện tử thứ cấp (ETD)

Máy dò electron tán xạ ngược

Máy dò electron thứ cấp chân không thấp

Quang phổ tán xạ năng lượng (EDS), v.v.

Định dạng lưu trữ hình ảnh

TIFF, JPG, BMP, PNG, độ phân giải tối đa 48k*32k

Cấu hình

Chức năng định vị quang học, được trang bị camera CCD ngang và camera dọc.

Hệ thống chân không

Chế độ chân không

Chân không cao

Tốt hơn 5×10⁻⁴ Pa

Chân không thấp

5~1000Pa

Phương pháp kiểm soát

Điều khiển hoàn toàn tự động

Buồng chứa mẫu

Máy ảnh

Định vị quang học

Giám sát buồng lấy mẫu

Cấu hình giai đoạn mẫu

Bàn đặt mẫu tự động hoàn toàn 5 trục với thiết kế động cơ bên trong khép kín hoàn toàn.

Phạm vi di chuyển

X：120 mm

VÀ：115 mm

VỚI：50 mm

R (Xoay): Có thể điều chỉnh liên tục 360°

T：-10°~+90°

Dung tích buồng chứa mẫu

Chiều rộng: 340 mm

Chiều cao: 274 mm

Độ sâu: 295 mm

Kích thước mẫu tối đa

Đường kính: 270 mm

Chiều cao: 53 mm