Microscop electronic cu scanare (SEM)
Proiect | Parametru | ||
Sistem optic electronic | Tipul tunului electronic | Tun de electroni cu filament de tungsten precentrat | |
Rezoluţie | Vid înalt | 5nm la 10kV (SE) | |
3nm la 30kV (SE) | |||
8nm la 3kV (SE) | |||
Mărire | 1–300.000× (mărire de bază) | ||
1–16× (mărire optică) | |||
Tensiune de accelerare | 0,2 kV ~ 30 kV | ||
Sistem de imagistică | Detector | Detector secundar de electroni (ETD) | |
| Detector de electroni retrodifuzați Detector de electroni secundari în vid scăzut Spectroscopia cu dispersie de energie (EDS) etc. | |||
Format de stocare a imaginilor | TIFF, JPG, BMP, PNG, până la 48k*32k | ||
Configurare | Funcție de navigare optică, echipată cu cameră CCD orizontală și cameră verticală | ||
Sistem de vid | Mod vid | Vid înalt | Mai bine decât 5×10⁻⁴ Pa |
Vid redus | 5~1000Pa | ||
Metodă de control | Control complet automat | ||
Camera de probă | Cameră | Navigație optică | |
Monitorizarea camerei de probă | |||
Configurația etapei de probă | Platformă de probă complet automatizată pe 5 axe, cu design motorizat intern complet închis | ||
Autonomie de călătorie | X：120 mm | ||
ŞI：115 mm | |||
CU：50 mm | |||
R (Rotație): 360° reglabil continuu | |||
T.：-10°~+90° | |||
Capacitatea camerei de probă | Lățime: 340 mm Înălțime: 274 mm Adâncime: 295 mm | ||
Dimensiunea maximă a eșantionului | Diametru: 270 mm Înălțime: 53 mm | ||