Skanirleýji elektron mikroskop (SEM)
Taslama | Parametr | ||
Elektron Optiki Ulgam | Elektron ýaragynyň görnüşi | Öňünden merkezleşdirilen volfram filamentli elektron tabanjasy | |
Çözgüt | Ýokary wakuum | 5nm@10kV(GD) | |
3nm@30kV(Gündogar-gündogar) | |||
8nm@3kV(GD) | |||
Ulaldyş | 1–300,000× (esasy ulaldyş) | ||
1–16× (optiki ulaldyş) | |||
Tizlenme naprýaženiýesi | 0.2kV ~ 30kV | ||
Suratlandyryş ulgamy | Detektor | Ikinji derejeli elektron detektory (ETD) | |
| Yza saçralan elektron detektory Pes wakuumly ikinji derejeli elektron detektory Energiýa dispersiýa spektroskopiýasy (EDS) we ş.m. | |||
Surat Saklama Formaty | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k * 32k çenli | ||
Konfigurasiýa | Gorizontal CCD kamera we dik kamera bilen enjamlaşdyrylan optiki nawigasiýa funksiýasy | ||
Wakuum ulgamy | Wakuum Režimi | Ýokary wakuum | 5×10⁻⁴ Pa-dan gowy |
Pes wakuum | 5~1000Pa | ||
Gözegçilik usuly | Doly awtomatiki dolandyryş | ||
Nusga kamerasy | Kamera | Optiki nawigasiýa | |
Nusga kamerasynyň gözegçiligi | |||
Nusga tapgyr konfigurasiýasy | Doly ýapyk içki motorlaşdyrylan dizaýn bilen 5 okly doly awtomatlaşdyrylan nusga tapgyry | ||
Syýahat aralygy | X：120 mm | ||
WE：115 mm | |||
BILEN：50 mm | |||
R (Aýlanma): 360° üznüksiz sazlanyp bilýär | |||
T：-10°~+90° | |||
Nusga Kamerasynyň Sygymy | Ini: 340 mm Beýikligi: 274 mm Çuňluk: 295 mm | ||
Maksimum nusga ölçegi | Diametri: 270 mm Beýikligi: 53 mm | ||