Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM)
Projekt | Paraméter | ||
Elektronoptikai rendszer | Elektronágyú típusa | Előre központosított volfrámszálas elektronágyú | |
Felbontás | Nagy vákuum | 5 nm @ 10 kV (SE) | |
3 nm @ 30 kV (SE) | |||
8 nm @ 3kV (SE) | |||
Nagyítás | 1–300 000× (alap nagyítás) | ||
1–16× (optikai nagyítás) | |||
Gyorsulási feszültség | 0,2 kV ~ 30 kV | ||
Képalkotó rendszer | Detektor | Másodlagos elektrondetektor (ETD) | |
| Visszaszórt elektron detektor Alacsony vákuumú másodlagos elektrondetektor Energiadiszperzív spektroszkópia (EDS) stb. | |||
Képtárolási formátum | TIFF, JPG, BMP, PNG, akár 48k*32k | ||
Konfiguráció | Optikai navigációs funkció, vízszintes CCD-kamerával és függőleges kamerával felszerelve | ||
Vákuumrendszer | Vákuum mód | Nagy vákuum | Jobb, mint 5×10⁻⁴ Pa |
Alacsony vákuum | 5~1000Pa | ||
Szabályozási módszer | Teljesen automatikus vezérlés | ||
Mintakamra | Kamera | Optikai navigáció | |
Mintakamra monitorozása | |||
Minta színpad konfiguráció | 5 tengelyes, teljesen automatizált mintaasztal teljesen zárt, belső motoros kialakítással | ||
Utazási tartomány | X：120 mm | ||
ÉS：115 mm | |||
VEL：50 mm | |||
R (Forgatás): 360°-ban folyamatosan állítható | |||
T：-10°~+90° | |||
Mintakamra kapacitása | Szélesség: 340 mm Magasság: 274 mm Mélység: 295 mm | ||
Maximális minta mérete | Átmérő: 270 mm Magasság: 53 mm | ||