走査型電子顕微鏡（SEM）

プロジェクト

パラメータ

電子光学系

電子銃型

プレセンタリング式タングステンフィラメント電子銃

解決

高真空

5nm@10kV(SE)

3nm@30kV(SE)

8nm@3kV(SE)

倍率

1～300,000倍（基本倍率）

1～16倍（光学倍率）

加速電圧

0.2kV～30kV

イメージングシステム

検出器

二次電子検出器（ETD）

後方散乱電子検出器

低真空二次電子検出器

エネルギー分散型分光法（EDS）など

画像保存形式

TIFF、JPG、BMP、PNG形式、最大48k×32k

構成

光学航法機能、水平CCDカメラおよび垂直カメラを搭載

真空システム

真空モード

高真空

5×10⁻⁴ Paより優れている

低真空

5～1000Pa

制御方法

完全自動制御

サンプルチャンバー

カメラ

光学ナビゲーション

サンプルチャンバーのモニタリング

サンプルステージ構成

完全密閉型内部モーター駆動設計の5軸全自動サンプルステージ

旅行範囲

X：120mm

そして：115 mm

と：50mm

R（回転）：360°連続調整可能

T：-10°～+90°°

サンプルチャンバー容量

幅：340mm

高さ：274mm

奥行き：295mm

最大サンプルサイズ

直径：270mm

高さ：53mm