ස්කෑනිං ඉලෙක්ට්රෝන අන්වීක්ෂය (SEM)
ව්යාපෘතිය | පරාමිතිය | ||
ඉලෙක්ට්රෝන දෘශ්ය පද්ධතිය | ඉලෙක්ට්රෝන තුවක්කු වර්ගය | පූර්ව කේන්ද්රීය ටංස්ටන් සූත්රිකාව ඉලෙක්ට්රෝන තුවක්කුව | |
විභේදනය | ඉහළ රික්තකය | 5nm @ 10kV(SE) | |
3nm @ 30kV(SE) | |||
8nm @ 3kV(SE) | |||
විශාලනය | 1–300,000× (මූලික විශාලනය) | ||
1–16× (දෘශ්ය විශාලනය) | |||
ත්වරණ වෝල්ටීයතාවය | 0.2kV~30kV | ||
රූපකරණ පද්ධතිය | අනාවරකය | ද්විතියික ඉලෙක්ට්රෝන අනාවරකය (ETD) | |
| පසුපස විසිරුණු ඉලෙක්ට්රෝන අනාවරකය අඩු රික්ත ද්විතියික ඉලෙක්ට්රෝන අනාවරකය ශක්ති විසරණ වර්ණාවලීක්ෂය (EDS), ආදිය. | |||
රූප ගබඩා ආකෘතිය | TIFF, JPG, BMP, PNG, 48k*32k දක්වා | ||
වින්යාසය | තිරස් CCD කැමරාවක් සහ සිරස් කැමරාවකින් සමන්විත දෘශ්ය සංචාලන ක්රියාකාරිත්වය | ||
රික්ත පද්ධතිය | රික්තක මාදිලිය | ඉහළ රික්තකය | 5×10⁻⁴ Pa ට වඩා හොඳයි |
අඩු රික්තකය | 5~1000Pa | ||
පාලන ක්රමය | සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය පාලනය | ||
සාම්පල් කුටිය | කැමරාව | දෘශ්ය සංචාලනය | |
සාම්පල කුටි නිරීක්ෂණය | |||
නියැදි අදියර වින්යාසය | සම්පූර්ණයෙන්ම සංවෘත අභ්යන්තර මෝටර් රථ සැලසුමක් සහිත 5-අක්ෂ සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය නියැදි අදියර | ||
සංචාරක පරාසය | ස:120 මි.මී. | ||
සහ:115 මි.මී. | |||
සමග:50 මි.මී. | |||
R (භ්රමණය): 360° අඛණ්ඩව වෙනස් කළ හැකිය | |||
ස:-10°~+90° | |||
සාම්පල කුටීර ධාරිතාව | පළල: 340 මි.මී. උස: 274 මි.මී. ගැඹුර: 295 මි.මී. | ||
උපරිම සාම්පල ප්රමාණය | විෂ්කම්භය: 270 මි.මී. උස: 53 මි.මී. | ||