سىكانىرلاش ئېلېكترونلۇق مىكروسكوپى (SEM)
تۈر | پارامېتىر | ||
ئېلېكترون ئوپتىكىلىق سىستېمىسى | ئېلېكترونلۇق مىلتىق تىپى | ئالدىن مەركەزلەشتۈرۈلگەن ۋولفرام تالالىق ئېلېكترون مىلتىقى | |
قارار | يۇقىرى ۋاكۇئۇم | 5nm@10kV(SE) | |
3nm@30kV(SE) | |||
8nm@3kV(SE) | |||
چوڭايتىش | 1–300،000× (ئاساسىي چوڭايتىش) | ||
1–16× (ئوپتىكىلىق چوڭايتىش) | |||
تېزلىنىش توك بېسىمى | 0.2kV ~ 30kV | ||
رەسىم سىستېمىسى | دېتېكتور | ئىككىنچى دەرىجىلىك ئېلېكترون دېتېكتورى (ETD) | |
| ئارقىغا چېچىلغان ئېلېكترون دېتېكتورى تۆۋەن ۋاكۇئۇملۇق ئىككىنچى دەرىجىلىك ئېلېكترون دېتېكتورى ئېنېرگىيە تارقاقلاشتۇرۇش سپېكتروسكوپىيەسى (EDS) قاتارلىقلار. | |||
رەسىم ساقلاش فورماتى | TIFF، JPG، BMP، PNG، 48k*32k گىچە | ||
سەپلىمىسى | ئوپتىكىلىق يول باشلاش ئىقتىدارى، گورىزونتال CCD كامېرا ۋە تىك كامېرا بىلەن تەمىنلەنگەن | ||
ۋاكۇئۇم سىستېمىسى | ۋاكۇئۇم ھالىتى | يۇقىرى ۋاكۇئۇم | 5×10⁻⁴ Pa دىن ياخشى |
تۆۋەن ۋاكۇئۇم | 5~1000Pa | ||
كونترول ئۇسۇلى | تولۇق ئاپتوماتىك كونترول قىلىش | ||
ئۈلگە كامېراسى | كامېرا | ئوپتىكىلىق يول باشلاش | |
ئۈلگە كامېراسىنى كۆزىتىش | |||
ئۈلگە باسقۇچ سەپلىمىسى | 5 ئوقلۇق تولۇق ئاپتوماتلاشتۇرۇلغان ئۈلگە باسقۇچى، تولۇق يېپىق ئىچكى ماتورلۇق لايىھەلەنگەن | ||
ساياھەت دائىرىسى | X：120 مىللىمېتىر | ||
ۋە：115 مىللىمېتىر | |||
بىلەن：50 مىللىمېتىر | |||
R (ئايلىنىش): 360° ئۈزلۈكسىز تەڭشىگىلى بولىدۇ | |||
T：-10°~+90° | |||
ئۈلگە كامېراسىنىڭ سىغىمى | كەڭلىكى: 340 مىللىمېتىر ئېگىزلىكى: 274 مىللىمېتىر چوڭقۇرلۇقى: 295 مىللىمېتىر | ||
ئەڭ چوڭ ئۈلگە چوڭلۇقى | دىئامېتىرى: 270 مىللىمېتىر ئېگىزلىكى: 53 مىللىمېتىر | ||