ИК-МС
Технические параметры | Основные характеристики |
Чувствительность | Чувствительность к индию (In) может достигать более 300 Мп/с/ppm, а чувствительность к урану (U) — более 350 Мп/с/ppm. |
Возможность устранения помех | В камере с распределенным впускным потоком типа «водопад» газы, образующиеся в результате столкновительной реакции, подаются ортогонально по всему процессу, создавая равномерное распределение газа. Для достижения того же эффекта, что и в других камерах с столкновительной реакцией, требуется всего 30% газового потока, что значительно повышает эффективность столкновительной реакции. |
Эксплуатационные расходы | Система предлагает режим ожидания с низким энергопотреблением, который значительно снижает расход аргона и электроэнергии без выключения системы, что приводит к экономии средств. |


