दुसरी हेलियम गळती चाचणी मशीन

तांत्रिक मापदंड

फायदेशीर मेट्रिक्स

चेंबर पृष्ठभागाची खडबडपणा

चेंबरच्या आतील भिंतीचा खडबडीतपणा ≤ Ra0.8

व्हॅक्यूम पंपिंग गळतीचा दर

व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये २० Pa दाब भरला जातो, तो २ मिनिटे तसाच ठेवला जातो, आणि पुढील १ मिनिटात गळतीचा दर ≤ ५० Pa/min असतो.

हेलियम गळतीचा दर

हेलियम गळती शोधक गळती दराची श्रेणी दाखवतो.

१.०*१०⁻¹² ते १.०*१०⁻³ Pa*m³/s

चुकीचा सकारात्मक दर

कोणतीही गळती सुटलेली नाही, गरजेपेक्षा जास्त वापराचे प्रमाण ≤ ०.५%

गळती शोधक डिस्प्ले श्रेणी

1×10⁻¹³～1×10⁻³ Pa·m³/s

किमान शोधण्यायोग्य गळती दर

५×१०-१३Pa·m3/s

चेंबर सीलिंगची अखंडता

चाचणी सुरू करण्यापूर्वी व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये 20 Pa दाब निर्माण करा, तो 2 मिनिटे तसाच ठेवा. पुढील 1 मिनिटात,

चाचणी कक्षातील दाबातील घट ≤ ५० Pa असावी.

सीलिंग रिंग आवश्यकता

डिटेक्शन चेंबरसाठी सील रिंग साफसफाईचे चक्र ≥ ८ तास, सेवा आयुष्य ≥ ३ महिने