2வது ஹீலியம் கசிவு சோதனை இயந்திரம்

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

சாதகமான அளவீடுகள்

அறை மேற்பரப்பு கரடுமுரடு

அறையின் உள் சுவர் சொரசொரப்பு ≤ Ra0.8

வெற்றிட பம்பிங் கசிவு விகிதம்

வெற்றிட அறையில் அழுத்தம் 20 Pa ஆக உயர்த்தப்பட்டு, 2 நிமிடங்களுக்கு அதே நிலையில் வைத்திருக்க வேண்டும். அடுத்த 1 நிமிடத்தில் கசிவு விகிதம் நிமிடத்திற்கு 50 Pa அல்லது அதற்கும் குறைவாக இருக்க வேண்டும்.

ஹீலியம் கசிவு விகிதம்

ஹீலியம் கசிவு கண்டறியும் கருவி, கசிவு விகித வரம்பைக் காண்பிக்கிறது.

1.0*10-12 முதல் 1.0*10-3 Pa*m3/s வரை

தவறான நேர்மறை விகிதம்

கவனிக்கப்படாத கசிவுகள் இல்லை, மிகையான செயல்பாடு விகிதம் ≤ 0.5%

கசிவு கண்டறியும் கருவியின் காட்சி வரம்பு

1×10⁻¹³～1×10⁻³ Pa·m³/s

குறைந்தபட்ச கண்டறியக்கூடிய கசிவு விகிதம்

5×10-13Pa·m3/s

அறை அடைப்பு ஒருமைப்பாடு

வெற்றிட அறையில் காற்றை 20 Pa அளவிற்கு நிரப்பி, சோதனையைத் தொடங்குவதற்கு முன் 2 நிமிடங்களுக்கு அந்த நிலையில் வைத்திருக்கவும். அடுத்த 1 நிமிடத்தில்,

சோதனை அறையின் அழுத்தக் குறைவு 50 பாஸ்கல் அல்லது அதற்குக் குறைவாக இருக்க வேண்டும்.

சீலிங் ரிங் தேவைகள்

கண்டறிதல் அறைக்கான சீல் வளையச் சுத்திகரிப்புச் சுழற்சி ≥ 8 மணிநேரம், சேவைக் காலம் ≥ 3 மாதங்கள்