צווייטע העליום ליק טעסט מאשין
דער צווייטער העליום ליק טעסט ווערט גענוצט פארן פארזיגלען טעסט פון דער באטעריע נאך דעם פארזיגלונג נאגל וועַלדינג פראצעס. די טעסט מעטאד איז די וואקיום העליום ליק דעטעקציע מעטאד (העליום גאז איז שוין פאראן אינעווייניג אין דער אריינקומענדיקער באטעריע, און דורך אויסליידיקן די טעסט קאמער, ווערט די ליק ראטע פון העליום איבער א באשטימטע צייט געמאסטן צו באשטימען די פארזיגלונג אינטעגריטעט פון דער באטעריע נאך וועַלדינג). די עקוויפּמענט איז גאָר אויטאָמאַטיש, אויטאָמאַטיש פארענדיקנדיק פונקציעס ווי לאָדן און אַנלאָדן, העליום ליק דעטעקציע, העליום באַזייַטיקונג, און אויטאָמאַטישע אפגעזונדערטקייט פון NG פּראָדוקטן.
מעלות:
- - וואַקוום העליום ליק דעטעקציע מעטאָד, הויך דעטעקציע אַקיעראַסי, יפעקטיוולי דעטעקטינג קליינטשיק ליקס.
- - הויך מדרגה פון אויטאמאטיזאציע, וואס ערמעגליכט שנעלע באַטש טעסטינג.
- - גוטע עקוויפּמענט סטאַביליטעט, מיט מינימאַלע ריפּיטאַביליטי ערראָרס אין טעסטינג.
| טעכנישע פּאַראַמעטערס | אַדוואַנטידזשע מעטריקס |
| קאַמער ייבערפלאַך ראַפנאַס | קאַמער אינעווייניקסטע וואַנט ראַפנאַס ≤ Ra0.8 |
| וואַקוום פּאַמפּינג ליק קורס | וואַקוום קאַמער געפּאַמפּט צו 20 פּאַ, האַלטן פֿאַר 2 מינוט, מיט ליקאַדזש קורס ≤ 50 פּאַ/מינוט בעשאַס די ווייַטער 1 מינוט |
| העליום ליק ראטע |
|
| העליום ליק דעטעקטאָר אַרויסווייַזן ליק קורס קייט | 1.0*10-12 ביז 1.0*10-3 פּאַ*מ3/סעק. |
| פאַלש פּאָזיטיוו קורס | קיין פארפעלטע ליקס, איבערקערעניש ראטע ≤ 0.5% |
| ליק דעטעקטאָר אַרויסווייַזן קייט | 1×10⁻¹³~1×10⁻³ פּאַ·מ³/סעק |
| מינימום דעטעקטאַבאַל ליק קורס | 5×10-13Pa·m3/s |
| קאַמער סילינג אָרנטלעכקייט | וואַקוום קאַמער געפּאַמפּט צו 20 פּאַ, האַלטן פֿאַר 2 מינוט איידער איר אָנהייבן די טעסט. אין דער ווייַטער 1 מינוט, דער דרוק פאַל פון דער טעסט קאַמער זאָל זיין ≤ 50 פּאַ. |
| פארזיגלונג רינג רעקווייערמענץ | רייניקונג ציקל פון די זיגל רינג פאר דער דעטעקציע קאמער ≥ 8 שעה, סערוויס לעבן ≥ 3 חדשים |

