दोस्रो हेलियम चुहावट परीक्षण मेसिन

प्राविधिक प्यारामिटरहरू

लाभदायक मेट्रिक्स

चेम्बरको सतहको खुरदरापन

चेम्बर भित्री भित्ताको खुरदरापन ≤ Ra0.8

भ्याकुम पम्पिङ चुहावट दर

भ्याकुम चेम्बरलाई २० पाउण्डमा पम्प गरियो, २ मिनेटसम्म होल्ड गर्नुहोस्, अर्को १ मिनेटमा चुहावट दर ≤ ५० पाउण्ड/मिनेट रहनेछ।

हेलियम चुहावट दर

हेलियम चुहावट डिटेक्टरले चुहावट दर दायरा प्रदर्शन गर्दछ

१.०*१०-१२ देखि १.०*१०-३ पा*मीटर३/सेकेन्ड

गलत सकारात्मक दर

कुनै छुटेको चुहावट छैन, ओभरकिल दर ≤ ०.५%

चुहावट पत्ता लगाउने डिस्प्ले दायरा

१×१०⁻¹³～१×१०⁻³ प·मि³/सेकेन्ड

न्यूनतम पत्ता लगाउन सकिने चुहावट दर

५×१०-१३Pa·m३/सेकेन्ड

चेम्बर सिलिङको अखण्डता

भ्याकुम चेम्बरलाई २० Pa मा पम्प गरियो, परीक्षण सुरु गर्नु अघि २ मिनेट होल्ड गर्नुहोस्। अर्को १ मिनेटमा,

परीक्षण कक्षको दबाब ड्रप ≤ ५० Pa हुनुपर्छ।

सिलिङ रिङ आवश्यकताहरू

पत्ता लगाउने कक्षको लागि सिल रिङ सफा गर्ने चक्र ≥ ८ घण्टा, सेवा जीवन ≥ ३ महिना