מכונת בדיקת דליפות הליום שנייה

פרמטרים טכניים

מדדים יתרונותיים

חספוס פני השטח של החדר

חספוס דופן פנימית של החדר ≤ Ra0.8

קצב דליפת משאבת ואקום

תא ואקום נשאב ל-20 פאסל, החזק למשך 2 דקות, עם קצב דליפה ≤ 50 פאסל/דקה במהלך הדקה הבאה.

קצב דליפת הליום

גלאי דליפות הליום מציג טווח קצב דליפה

1.0*10-12 עד 1.0*10-3 Pa*m3/s

שיעור חיובי שגוי

אין דליפות שהוחמצו, שיעור יתר של ≤ 0.5%

טווח התצוגה של גלאי דליפות

1×10⁻¹³～1×10⁻³ פ.מ.ק./שנייה

קצב דליפה מינימלי שניתן לגילוי

5×10-13Pa·m3/s

שלמות איטום התא

תא ואקום שאוב ל-20 פאסל, החזק למשך 2 דקות לפני תחילת הבדיקה. בדקה הבאה,

ירידת הלחץ של תא הבדיקה צריכה להיות ≤ 50 פאסל.

דרישות טבעת איטום

מחזור ניקוי טבעת אטם לתא הגילוי ≥ 8 שעות, חיי שירות ≥ 3 חודשים