ஒற்றை முனை விநியோக இயந்திரம்
ஒற்றை முனை விநியோக இயந்திரம் என்பது துல்லியமான ஒட்டுதல், விநியோகித்தல் மற்றும் நிரப்புதல் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு தானியங்கி சாதனம் ஆகும்.

| தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள் | சாதகமான அளவீடுகள் |
| வெப்பநிலை சரிசெய்தல் வரம்பு | 500℃ |
| வெப்பநிலை பிழை | ±2℃ |
| விநியோக வரம்பு | X:300மிமீ, Y:300மிமீ, Z:100மிமீ |
| இயக்க வேகம் | 0-600மிமீ |
| தீர்மானம் | 0.01 மிமீ |
| மீண்டும் மீண்டும் துல்லியம் | ±0.02மிமீ |

