1 ನೇ ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷಾ ಯಂತ್ರ
ಟಾಪ್ ಕವರ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ನಂತರ ಬ್ಯಾಟರಿಯ ಸೀಲಿಂಗ್ ಪರೀಕ್ಷೆಗೆ ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷಕವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರೀಕ್ಷಾ ವಿಧಾನವೆಂದರೆ ನಿರ್ವಾತ ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ ವಿಧಾನ (ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ ಹೀಲಿಯಂ ಅನಿಲವನ್ನು ಮೊದಲು ಬ್ಯಾಟರಿಗೆ ಚುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮೇಲಿನ ಕವರ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ನಂತರ ಬ್ಯಾಟರಿಯ ಸೀಲಿಂಗ್ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಧಿಯಲ್ಲಿ ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ದರವನ್ನು ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ).
| ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು | ಅನುಕೂಲಕರ ಮಾಪನಗಳು |
| ಪತ್ತೆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸೀಲಿಂಗ್ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟ | ≤40ಪ್ಯಾ; |
| ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ | ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟ ≤ 5 Pa, ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗ ≥ 250 L/min, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪಿಂಗ್ ಸಮಯ ≤ 8 ಸೆಕೆಂಡುಗಳು |
| ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ದರ |
|
| ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆಕಾರಕ ಪ್ರದರ್ಶನ ಸೋರಿಕೆ ದರ ಶ್ರೇಣಿ | 1.0*10-12 ರಿಂದ 1.0*10-3 Pa*m3/s |
| ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆಕಾರಕ ಪ್ರದರ್ಶನ ಶ್ರೇಣಿ | 1×10⁻¹³～1×10⁻³ Pa·m³/s |
| ಕನಿಷ್ಠ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಬಹುದಾದ ಸೋರಿಕೆ ದರ | 5×10-13Pa·m3/s |
| ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ ಬಂದರಿನಲ್ಲಿ ಗರಿಷ್ಠ ಒತ್ತಡ | 1500ಪ್ಯಾ |
| ನಿರ್ವಾತ ಸೋರಿಕೆ ದರ | ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು 20 Pa ಗೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, 2 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ ಹಿಡಿದುಕೊಳ್ಳಿ, ಮುಂದಿನ 1 ನಿಮಿಷದಲ್ಲಿ ಸೋರಿಕೆ ದರ ≤ 50 Pa/min |
ಅನುಕೂಲಗಳು:
- - ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ದರ
- - ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸಲಕರಣೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ: ಚೇಂಬರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪಿಂಗ್ ಸೋರಿಕೆ ದರ ಮತ್ತು ಇತರ ಮೆಟ್ರಿಕ್ಗಳಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಸೂಚಕಗಳು. ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂ ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ ನಳಿಕೆಯ ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ದೀರ್ಘ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಚಕ್ರ ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ಉಂಗುರಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನ, ಬಲವಾದ ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚಗಳು.
- - ಸಮಗ್ರ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ: ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆ, ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ, ಹೀಲಿಯಂ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು NG ಉತ್ಪನ್ನ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಗಾಗಿ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಗಳು, ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.