முதல் ஹீலியம் கசிவு சோதனை இயந்திரம்
மேல் மூடி பற்றவைக்கப்பட்ட பிறகு, மின்கலத்தின் காற்றுப்புகாத் தன்மையைச் சோதிக்க ஹீலியம் கசிவு சோதனைக் கருவி பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்தச் சோதனை முறையானது வெற்றிட ஹீலியம் கசிவு கண்டறியும் முறையாகும் (முதலில் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு ஹீலியம் வாயு மின்கலத்தினுள் செலுத்தப்பட்டு, ஒரு குறிப்பிட்ட காலப்பகுதியில் ஏற்படும் ஹீலியத்தின் கசிவு விகிதத்தின் மூலம் மேல் மூடி பற்றவைக்கப்பட்ட பிறகு மின்கலத்தின் காற்றுப்புகாத் தன்மை தீர்மானிக்கப்படுகிறது).
| தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள் | சாதகமான அளவீடுகள் |
| கண்டறிதலின் போது சீலிங் அறையில் உள்ள வெற்றிட நிலை | ≤40Pa; |
| வெற்றிட பம்ப் | உச்சபட்ச வெற்றிட நிலை ≤ 5 Pa, உந்திச் செல்லும் வேகம் ≥ 250 L/min, வெற்றிட உந்திச் செல்லும் நேரம் ≤ 8 வி |
| ஹீலியம் கசிவு விகிதம் |
|
| ஹீலியம் கசிவு கண்டறியும் கருவி, கசிவு விகித வரம்பைக் காண்பிக்கிறது. | 1.0*10-12 முதல் 1.0*10-3 Pa*m3/s வரை |
| கசிவு கண்டறியும் கருவியின் காட்சி வரம்பு | 1×10⁻¹³～1×10⁻³ Pa·m³/s |
| குறைந்தபட்ச கண்டறியக்கூடிய கசிவு விகிதம் | 5×10-13Pa·m3/s |
| கசிவு கண்டறியும் துளையில் அதிகபட்ச அழுத்தம் | 1500Pa |
| வெற்றிடக் கசிவு விகிதம் | வெற்றிட அறையில் அழுத்தம் 20 Pa ஆக உயர்த்தப்பட்டு, 2 நிமிடங்களுக்கு அதே நிலையில் வைத்திருக்க வேண்டும். அடுத்த 1 நிமிடத்தில் கசிவு விகிதம் நிமிடத்திற்கு 50 Pa அல்லது அதற்கும் குறைவாக இருக்க வேண்டும். |
நன்மைகள்:
- - ஹீலியம் கசிவு விகிதம்
- - சிறந்த உபகரணச் செயல்திறன்: அறை மேற்பரப்பின் சொரசொரப்பு, வெற்றிட உந்திக் கசிவு விகிதம் மற்றும் பிற அளவீடுகளுக்கான நல்ல குறிகாட்டிகள். வெற்றிட உந்தி மற்றும் ஹீலியம் உட்செலுத்தும் முனையின் நிலையான செயல்திறன், சீல் வளையங்களின் நீண்ட சுத்தப்படுத்தும் சுழற்சி மற்றும் சேவை ஆயுள், வலுவான நீடித்துழைப்பு மற்றும் குறைந்த பராமரிப்புச் செலவுகள்.
- முழுமையான தானியக்கம்: ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல், ஹீலியம் கசிவைக் கண்டறிதல், ஹீலியத்தை அகற்றுதல் மற்றும் இயற்கை எரிவாயு (NG) தயாரிப்பைப் பிரித்தெடுத்தல் ஆகியவற்றுக்கான முழுமையான தானியக்கச் செயல்பாடுகள், உற்பத்தித் திறனையும் சோதனையில் நிலைத்தன்மையையும் மேம்படுத்துகின்றன.