ערשטע העליום ליק טעסט מאשין
דער העליום ליק טעסטער ווערט גענוצט פארן פארזיגלונג טעסט פון דער באטעריע נאךן שווייסן דעם אויבערשטן דעקל. די טעסט מעטאד איז די וואקיום העליום ליק דעטעקציע מעטאד (א געוויסע מאס העליום גאז ווערט ערשט אריינגעשפריצט אין דער באטעריע, און די ליק ראטע פון העליום איבער א באשטימטע צייט ווערט געמאסטן צו באשטימען די פארזיגלונג אינטעגריטעט פון דער באטעריע נאךן שווייסן דעם אויבערשטן דעקל).
| טעכנישע פּאַראַמעטערס | אַדוואַנטידזשע מעטריקס |
| וואַקוום לעוועל אין דער פאַרזיגלונג קאַמער בעת דעטעקציע | ≤40Pa; |
| וואַקוום פּאָמפּע | לעצט וואַקוום לעוועל ≤ 5 פּאַ, פּאָמפּע גיכקייט ≥ 250 ל/מינוט, וואַקוום פּאָמפּע צייט ≤ 8 ס |
| העליום ליק ראטע |
|
| העליום ליק דעטעקטאָר אַרויסווייַזן ליק קורס קייט | 1.0*10-12 ביז 1.0*10-3 פּאַ*מ3/סעק. |
| ליק דעטעקטאָר אַרויסווייַזן קייט | 1×10⁻¹³～1×10⁻³ פּאַ·מ³/סעק |
| מינימום דעטעקטאַבאַל ליק קורס | 5×10-13Pa·m3/s |
| מאַקסימום דרוק ביים ליק דעטעקציע פּאָרט | 1500Pa |
| וואַקוום ליק ראַטע | וואַקוום קאַמער געפּאַמפּט צו 20 פּאַ, האַלטן פֿאַר 2 מינוט, מיט ליקאַדזש קורס ≤ 50 פּאַ/מינוט בעשאַס די ווייַטער 1 מינוט |
מעלות:
- - העליום ליק ראטע
- - אויסגעצייכנטע עקוויפּמענט פאָרשטעלונג: גוטע אינדיקאַטאָרן פֿאַר קאַמער ייבערפלאַך ראַפנאַס, וואַקוום פּאָמפּע ליק קורס, און אנדערע מעטריקס. סטאַביל פאָרשטעלונג פון די וואַקוום פּאָמפּע און העליום ינדזשעקשאַן נאָזל, לאַנג רייניקונג ציקל און דינסט לעבן פון די סילינג רינגס, שטאַרק געווער, און נידעריק וישאַלט קאָס.
- - קאָמפּרעהענסיוו אָטאָמאַציע: גאָר אָטאָמאַטיש פאַנגקשאַנז פֿאַר לאָודינג און אַנלאָודינג, העליום ליק דיטעקשאַן, העליום באַזייַטיקונג, און NG פּראָדוקט אפגעזונדערטקייט, פֿאַרבעסערן פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט און קאָנסיסטענסי אין טעסטינג.