மின்முனை தயாரித்தல்
லேசர் டை-கட்டிங் இயந்திரம்
மின்முனைத் தகடுகளை உருவாக்குவதற்காக வன்பொருள் அச்சுகளைப் பயன்படுத்தும் லித்தியம் மின்கலச் செயலாக்க உபகரணம் (அச்சு வகை), இது குறைந்தபட்ச பிசிறுகளையும் மற்றும் பல அந்நியப் பொருள் கட்டுப்பாட்டு நடவடிக்கைகளையும் கொண்டுள்ளது.
| அளவுரு | விவரக்குறிப்பு |
| உபகரண விவரக்குறிப்பு | சுருளின் அகலம்: 550 மிமீ |
| ஒட்டுமொத்த கோட்டு அளவுகள் (மிமீ) | 9500(நீளம்)*2300(அகலம்)*2700(உயரம்) |
| இயக்க வரி வேகம் | 60-120 மீ/நிமிடம் |
| லேசர் கட்டிங் பர்ர்ஸ் | ≤10μm |
| மின்முனைத் தகடு பிளவுபடுத்தும் கூர்முனைகள் | ≤7μm |
| மின்முனைத் தாளின் அகல விவரக்குறிப்புகள் | 150-500 மிமீ |
| சுருள் விட்டம் விவரக்குறிப்புகள் | ≤1000மிமீ |
| மின்முனைத் தாள் பிளவு சகிப்புத்தன்மை | ±0.2 மிமீ |
| மின்முனைத் தகடு வெட்டும் நிலைத் துல்லியம் | ±0.2 மிமீ |
| மின்முனைத் தகடு வெட்டும் வடிவத் துல்லியம் | ±0.2 மிமீ |
| சீரமைப்பு கட்டுப்பாட்டு துல்லியம் | ±0.1மிமீ |
| குறி துளை நிலை துல்லியம் | ±0.3 மிமீ |
| மின்முனைத் தாளின் தடிமன் விவரக்குறிப்புகள் | 60-250μm |
| படலத் தடிமன் விவரக்குறிப்புகள் | 4.5-20μm |
| தூசி அகற்றும் திறன் | வகுப்பு 10,000 தூய்மையான அறை |